במחלקת הליתוגרפיה, תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו נחשב לשלב של הכנה בלבד – זהו שלב חיוני לשליטה בממדים הקריטיים של החומר. חימום עמום יגרום לשינוי של 2 מעלות צלזיוס, וזה יגרום לשינוי של ננומטרים במיקום הקווים על השבב. יצרנו את המנורה בעלת שני הצינורות של אור אינפרא-אדום, כדי לבטל את השינויים האלו.
מהחשוב מבחינה טכנית: המנורה פועלת באמצעות אור אינפרא-אדום בגלים קצרים, והיא מעבירה אנרגיה ישירות לפוטורזיסט, מבלי לפגוע בשכבות שמתחתיו. שני הצינורות של המנורה מאפשרים אחידות בפיזור האנרגיה על פני השבב, כך שהשונות בטמפרטורה עומדת על ±0.1 מעלות צלזיוס. זמן התגובה של המנורה הוא פחות מ-2 שניות, כך שכאשר משנים את ההגדרות, השינויים במיקום הקווים יהיו מיידיים. השונות בין ייצורים שונים נשמרת בטווח של מספר אלפיות של מעלות צלזיוס.
המעטפת של הקוורץ והגאומטריה של המחזיר מונעים את יצירת החלקיקים, כך שניתן לשמור על תנאי סביבה נקיים ברמה של קלאס 1–100.
למה זה עובד בייצור: מתקבלים ממדים קריטיים יציבים, פחות צורך בעבודות תיקון, ופחות שינויים במיקום הקווים. תהליכי החימום השונים נשארים עקביים, והפגמים האקראיים פוחתים. צריכת האנרגיה פוחתת, מכיוון שהמנורה מחממת רק את הפוטורזיסט, ולא את כל התא שבו הוא נמצא.
המנורות פעלו כבר יותר מ-5,000 שעות, עם שונות בהפקה של פחות מ-5%. זה אומר פחות צורך בתחזוקה, ואפשרות לתכנון טוב יותר של חלקי החילוף.
כמה הערות פרקטיות: ההתקנה דורשת מקור אנרגיה ייעודי ומבודד, וכן תיאום מדויק של מיקום המנורה. ביצועי המנורה תלויים במרחק בין המחזיר לבין מישור השבב. המנורה פועלת בטווח תנאי מתח צר, ויש צורך לשלוט בטמפרטורה של הסביבה כדי שהמנורה תפעל כראוי.
יש לתכנן את תהליך ההחלפה בזמנים של תחזוקה, ולא לאחר כישלון של המנורה.