בתהליך הייצור, השליטה בפרמטרים התרמיים אינה אופציונלית. שינויים של מספר מעלות במהלך ייבוש הוואפר, עיבוד הפוטורזיסט או תהליך האיטום של המוצר יכולים לגרום לשינויים בממדים החשובים, להשארת שאריות או להחלשת החיבורים בין החלקים השונים של המוצר. לכן יוצרנו את הגלאי האינפרא-אדום מחומר סרמי, כדי לווסת את החום בנקודות החשובות ביותר – דווקא בנקודות החשופות לחום.
מה שבאמת חשוב בתהליך הייצור הוא השגת עקביות. הגלאי הסרמי מספק תמיכה דיאלקטרית יציבה ואפשרות להתקנה חוזרת ונשנית של המוצר, כך שמקור האינפרא-אדום נשאר במיקום הנכון ומחובר תרמית בצורה יציבה. הגלאי מגיב במהירות ובצורה אחידה, ומאפשר שליטה טובה בטמפרטורה באזור הרלוונטי. זה מאפשר שליטה עקבית בתהליך עיבוד הפוטורזיסט ושליטה בהסרת החומרים המסיסים במהלך ייבוש הוואפר.
בתהליך האיטום, אותה יציבות מאפשרת חיבורים אמינים בין החלקים השונים של המוצר, ללא יצירת לחץ על החיבורים. ניתן לצפות לשליטה עקבית בטמפרטורה, להפחתת ייצור חלקיקים, ולתאימות עם סביבות נקיות מסוג Class 1–100.
הגלאי הסרמי עובד טוב מכיוון שהוא מתאים לקצב העבודה בתחום השבבים. בתהליכי הליתוגרפיה, הגלאי שומר על טמפרטורה קבועה שמאפשרת שליטה טובה בממדים החשובים של השבב. בתהליכי ניקוי וייבוש, הגלאי מספק חום מהיר ואחיד, כך שהייבוש מתבצע במהירות ללא יצירת פגמים.
בתהליך האיטום, הגלאי מספק עקומת איטום יציבה, מה שמקל על תהליך הייצור ומפחית את כמות החלקים הפגומים. התוצאה היא פחות שינויים בפרמטרים, זמני עבודה קבועים, ותפוקה אמינה.
שימו לב: גלאים סרמיים רגישים לזעזועים מכניים, ויש לוודא שהם ממוקמים במיקום הנכון. יש לתכנן את המערכת כך שהגלאים יהיו במיקום קבוע, ויש לאפשר להם זמן קצר להגיע למצב שיווי משקל לפני תחילת התהליך. כמו כן, יש להתאים את הגלאים למתח ולתדירות העבודה של המערכת – אחרת לא ניתן יהיה לשמור על יציבות הפלט לאורך יותר מ-5,000 שעות.