V procesu výroby integrovaných obvodů pro displeje neodpouštějí chyby spojené s tepelnými vlivy. I nepatrná odchylka o 0,5 °C může způsobit problémy – tloušťka fotorezistu se poté začne měnit. Možnosti úprav během procesu tak klesají.
V prostoru určeném k sušení zůstává vlhkost, která nebyla zcela odstraněna, což může vést k vzniku mikromostů. Tyto problémy nejsou viditelné hned, ale objeví se až po několika týdnech, když klesne výkon výroby. Naše infračervené ohřívače byly navrženy právě proti těmto problémům – s přesným řízením teploty, bez prostoru na odchylky, s maximální opakovatelností.
Co je technicky důležité
Používáme krátkovlnné infračervené zářiče s rychlou odezvou. U desek o velikosti 200 mm a 300 mm dosahujeme rovnosti teploty na úrovni desek v rozsahu ±0,1 °C. Opakovatelnost teploty při sušení je ±0,2 °C, takže proces sušení i zasychání fotorezistu probíhá přesně podle plánu.
Ohřívače fungují v čistých prostorách třídy 1–100, kde nehrozí vznik částic – to je potvrzeno sledováním částic během procesu. Spotřeba energie je nastavena podle konkrétního postupu výroby, a profily teplotních změn se opakují v rámci 10 ms. To chrání tenké vrstvy před tepelným stresem.
Proč se to hodí do výroby integrovaných obvodů pro displeje
Tyto desky jsou citlivé – používají se nízkokonduktivní dielektrika, tenké kovy a malé vzdálenosti mezi jednotlivými vrstvami. Je tedy nutné pečlivě kontrolovat teplotu. Díky našim infračerveným zářičům zůstávají vlastnosti fotorezistu stabilní. Sníží se počet oprav a zrychlí se přechod mezi jednotlivými fázemi výroby, protože eliminujeme dlouhé doby zahřívání.
Sušení desek probíhá tak, že dochází k rovnoměrné dehydrataci, což snižuje hustotu vad a stabilizuje proces litografie. Výsledkem je lepší kontrola kritických rozměrů, méně problémů s rozostřením a proces, který funguje předvídatelně.
Co je potřeba vědět před zavedením tohoto řešení
Ohřívače lze instalovat do stávajících systémů, ale je potřeba dodržovat přesné parametry zarovnání. Vzdálenost mezi zářičem a deskou musí zůstat v rozsahu ±0,5 mm, aby byla zachována rovnoměrnost teploty.
Je potřeba také vybrat správnou kombinaci teplotní hmotnosti nosiče a emisivity zadní strany desky. Plánujte krátký testovací proces, abyste určili správné hodnoty rychlosti zahřívání a doby trvání procesu. Jakmile je vše nastaveno, systém funguje 24/7 s minimální údržbou. Lampy jsou navrženy tak, aby fungovaly po dobu 5 000 hodin s stabilním výstupem.