V litografii není odchylka o půl stupně Celsia během procesu zahřívání „malou chybou“. Tato odchylka narušuje průtok fotorezistoru, zhoršuje kontrolu kritických rozměrů a vede k tomu, že výsledný výstup není v požadovaných parametrech. V praxi to znamená odpad, nutnost oprav a zpoždění v termínech výroby. Naše zařízení na měření povrchového napětí destiček je navrženo tak, aby zabránilo tepelným odchylkám již v jejich počáteční fázi.
Co je technicky důležité
Používáme krátkovlnné infračervené členy v konstrukci na bázi křemíku – díky tomu je ohřev rychlý a čistý, bez rizika vzniku částic. V celé aktivní oblasti zůstává rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C a opakovatelnost zůstává konstantní i při opakovaném použití. Nahřívací zařízení je určeno k použití v čistých prostorách třídy 1–100 – má materiály s nízkou mírou uvolňování plynů a povrchovou úpravu, která snižuje množství částic. Lze ho snadno integrovat do existujících zařízení na nanášení a zahřívání vrstev.
Proč to funguje při zpracování fotorezistoru
Všechny procesy jsou citlivé na teplotu – odstranění rozpouštědel, viskozita a povrchové napětí jsou určovány teplotou a dobou trvání procesu. Pokud stabilizujete parametry zahřívání, dosáhnete předvídatelné šířky hranic a jednotného chování povrchu. Výsledkem je méně odchylek, přesnější kontrola a méně odpadu. Rychlá regulace teploty a stabilní provoz také snižují spotřebu energie. Cílem je 24/7 provoz továrny.
Praktické aspekty
Instalace spočívá v přizpůsobení výkonu a řídicích signálů k dané platformě, poté je potřeba nastavit teplotní hodnoty podle konkrétní vrstvy fotorezistoru. Nahřívací zařízení funguje nejlépe, pokud se ověří těsnosti komory a proudění vzduchu – bez toho mohou vzniknout lokální teplotní gradienty. Je potřeba plánovat integraci co nejdříve a ověřit parametry zařízení v souvislosti s konkrétní vrstvou fotorezistoru ještě před zahájením výroby ve velkém měřítku.