লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, “সফ্ট বেক” প্রক্রিয়ার সময় মাত্র অর্ধ-ডিগ্রির পরিবর্তনই নিয়ন্ত্রিত ফটোরেজিস্ট প্রোফাইলকে অনিয়ন্ত্রিত অবস্থায় নিয়ে যেতে যথেষ্ট। এই ধরনের পরিবর্তন রোধ করার জন্যই এলিপসোমেট্রি ওয়েফার প্রোব হিটারটি তৈরি করা হয়েছে। ওয়েফার শুকানো, ফটোরেজিস্ট প্রি-বেক এবং পোস্ট-এক্সপোজার বেক প্রক্রিয়াগুলোতে তাপমাত্রার সামঞ্জস্য খুবই গুরুত্বপূর্ণ; কারণ এটাই ডিভাইসের জ্যামিতিক গঠন নির্ধারণ করে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
এখানে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার ব্যবহৃত হয়; এটা কোয়ার্টজ-স্ট্যাবিলাইজড থার্মাল পাথের সাহায্যে ওয়েফারের তাপমাত্রাকে ±0.1°C এর মধ্যে রাখে। সেটপয়েন্টের পরিবর্তন তৎক্ষণাৎ ঘটে; কোনো ওভারশুট ঘটে না। এই সিস্টেমটি ক্লাস 1 ক্লিনরুমেও ব্যবহার করা যায়; এখানে ব্যবহৃত উপকরণগুলো কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন করে না। 5,000+ ঘন্টা ধরে এর আউটপুট 1% এর মধ্যেই থাকে; তাই এটা 24/7 চালানো যায়।
কেন এটা গুরুত্বপূর্ণ?
দৈনন্দিন ব্যবহারে এই নির্ভুলতা ফটোরেজিস্ট পুনর্ব্যবহারের প্রয়োজন কমিয়ে দেয়; আর থার্মাল ব্যবস্থাকেও সুরক্ষিত রাখে। “সফ্ট বেক” প্রক্রিয়ায় পুনরাবৃত্তির ফলে ওয়েফারের পুরুত্ব নিয়ন্ত্রণ করা যায়; এটা পরবর্তী প্রক্রিয়াগুলোতে ভালো ফলাফল দেয়। একইভাবে, “হার্ড বেক” প্রক্রিয়াতেও স্থিতিশীল তাপমাত্রা বজায় থাকে; ফলে কোনো ধরনের অনিয়ম ঘটে না। এছাড়া, এমিটারটি লক্ষ্যবস্তুকেই উত্তপ্ত করে; চেম্বারের দেয়ালগুলোকে নয়। ফলে শক্তি সাশ্রয় হয়। থার্মাল ট্রানজিয়েন্টগুলো দূর হয়ে গেলে প্রক্রিয়াটি আরও সহজ হয়ে যায়।
এটা কীভাবে কাজ করে?
ইনস্টলেশনের সময় প্রোবের জ্যামিতি এবং ওয়েফারের পৃষ্ঠের ইমিট্যান্সি বিবেচনা করা হয়। ডাইইলেকট্রিক স্ট্যাক ও ব্যাকসাইড মেটালাইজেশনের কারণে সেটপয়েন্টে কয়েক ডিগ্রি পরিবর্তন হতে পারে। মাউন্টিং ইন্টারফেস আগেই পরিকল্পনা করা উচিত; আর কন্ট্রোলারের PID টিউনিংও ওয়েফারের জন্য উপযুক্তভাবে করা উচিত। একবার সবকিছু সামঞ্জস্যপূর্ণ হয়ে গেলে, হিটারটি প্রতিবারই নির্ভুল ফলাফল দেয়।