ডিসপ্লে ড্রাইভার IC তৈরির ক্ষেত্রে, থার্মাল ড্রিফটকে কোনোভাবেই উপেক্ষা করা যায় না। এমনকি ০.৫°C পরিমাণের তাপমাত্রার পার্থক্যও ফটোরেজিস্টের ঘনত্বকে প্রভাবিত করে। এর ফলে এক্সপোজার প্রক্রিয়াটি ঠিকমতো চলে না।
ড্রাইং প্রক্রিয়ায়, যদি আর্দ্রতা সম্পূর্ণরূপে অপসারিত না হয়, তাহলে মাইক্রো-ব্রিজিং সমস্যা দেখা দেয়। এর ফলে উৎপাদন ক্ষমতা কয়েক সপ্তাহ পরেই কমে যায়। আমরা এই সমস্যাগুলো সমাধানের জন্যই ইনফ্রারেড হিটার তৈরি করেছি—কঠোর থার্মাল নিয়ন্ত্রণ, কোনো ধরনের ড্রিফট নয়, এবং নির্দিষ্ট মান বজায় রাখা।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা দ্রুত-প্রতিক্রিয়াশীল কোয়ার্টজ এমিটার ব্যবহার করি। ২০০ মিমি ও ৩০০ মিমি আকারের ওয়্যাফারগুলোর ক্ষেত্রে, তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ হয় ±০.১°C এর মধ্যে। বেকিং প্রক্রিয়ায় তাপমাত্রার পুনরাবৃত্তি হয় ±০.২°C এর মধ্যে; ফলে সফট বেকিং, হার্ড বেকিং এবং ফটোরেজিস্ট কিউরিং প্রক্রিয়াগুলো ঠিকমতো চলে।
এটা ক্লাস ১–১০০ ধরনের ক্লিনরুমে ব্যবহৃত হয়; যেখানে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না। এনার্জি ব্যবহার রেসিপি অনুযায়ী নিয়ন্ত্রিত হয়; থার্মাল র্যাম্প প্রোফাইলগুলো ১০ মিলিসেকেন্ডের মধ্যেই পুনরাবৃত্তি হয়। এর ফলে থিন-ফিল্ম স্ট্যাকগুলো থার্মাল স্ট্রেস থেকে রক্ষা পায়।
ডিসপ্লে ড্রাইভার IC তৈরিতে এটা কেন গুরুত্বপূর্ণ?
ওয়্যাফারগুলো খুবই সংবেদনশীল—কম-কে ডাইইলেকট্রিক, পাতলা ধাতু, সূক্ষ্ম পিচ। তাই থার্মাল নিয়ন্ত্রণ অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। আমাদের ইনফ্রারেড প্রোফাইলের ফলে ফটোরেজিস্টের কার্যকারিতা ঠিকমতো বজায় থাকে। রিওয়ার্কিংয়ের প্রয়োজন কমে যায়; কারণ দীর্ঘ সময় ধরে উষ্ণ অবস্থায় রাখার প্রয়োজন নেই।
ওয়্যাফার ড্রাইং প্রক্রিয়ায় আর্দ্রতা সম্পূর্ণরূপে অপসারিত হয়; ফলে ত্রুটির পরিমাণ কমে যায় এবং লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল থাকে। এর ফলে ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন নিয়ন্ত্রণ ভালো হয়, ডিফোকাস ঘটে না, এবং প্রক্রিয়াটি প্রতিবারই নির্ভরযোগ্যভাবে চলে।
ব্যবহার করার আগে জানা উচিত কী?
হিটারটি বিদ্যমান ট্র্যাক ও বেকিং প্লেটগুলোতে ব্যবহৃত হয়; কিন্তু অ্যালাইনমেন্ট খুবই গুরুত্বপূর্ণ। এমিটার থেকে ওয়্যাফার পর্যন্তの দূরত্ব অবশ্যই ±০.৫ মিমি এর মধ্যে থাকতে হবে।
রেসিপি অনুযায়ী থার্মাল মাস ও ওয়্যাফারের এমিসিভিটি মিলিয়ে নিতে হবে। র্যাম্প রেট ও সময় নির্ধারণ করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত টেস্ট করা উচিত। একবার সেট হয়ে গেলে, এটা ২৪/৭ ঘণ্টা কাজ করতে পারে; ল্যাম্পগুলো ৫,০০০+ ঘণ্টা ধরে স্থিতিশীল অবস্থায় কাজ করতে পারে।