في خطوط التصنيع، لا تتحمل رقائق محركات العرض الحرارية أي انحرافات حرارية. حتى أدنى انحراف في درجة الحرارة بمقدار 0.5 درجة مئوية قد يؤدي إلى تغير سمك طبقة الفوتوريزست، وبالتالي يضيع السيطرة على عملية التعرض للضوء.
في غرف التجفيف، فإن الرطوبة التي لا يتم إزالتها بالكامل قد تؤدي إلى تكون جسور دقيقة بين الأجزاء المختلفة. لا يمكن ملاحظة ذلك إلا بعد مرور أسابيع، عندما ينخفض معدل الإنتاج. لقد صممنا أجهزة التسخين بالأشعة تحت الحمراء لحل هذه المشاكل – بحيث يكون هناك تحكم دقيق في درجة الحرارة، ولا يوجد مجال لأي انحرافات، ويكون هناك تكرار موثوق في النتائج.
ما الذي يهم من الناحية التقنية؟ نستخدم أجهزة تسخين بالأشعة تحت الحمراء ذات الاستجابة السريعة. في الرقائق بحجم 200 مم و300 مم، يتم الحفاظ على توحيد درجة الحرارة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية. أما تكرار درجة الحرارة أثناء عملية التسخين، فيكون ضمن نطاق ±0.2 درجة مئوية، وبذلك يتم الحفاظ على دقة عملية التسخين وتجفيف الفوتوريزست دون الحاجة إلى تعديل الإعدادات باستمرار.
يتم استخدام هذه الأجهزة في غرف نظيفة من الفئة 1–100، حيث لا يوجد أي جسيمات، ويتم التحقق من ذلك عبر أجهزة مراقبة الجسيمات. يتم ضبط استهلاك الطاقة وفقًا للوصفة المحددة، ويتم تكرار نمط الارتفاع الحراري خلال 10 مللي ثانية فقط. وهذا يحمي الطبقات الرقيقة من الضغوط الحرارية.
لماذا تُستخدم في عملية تصنيع محركات العرض؟ الرقائق حساسة للغاية: مواد عازلة ذات معامل كهربائي منخفض، معادن رقيقة، ومسافات صغيرة بين الأجزاء. لذلك، يجب أن يكون هناك تحكم دقيق في درجة الحرارة. مع استخدام أجهزة التسخين بالأشعة تحت الحمراء، يتم الحفاظ على أداء الفوتوريزست بشكل مستقر. وبالتالي، يقل عدد عمليات إعادة العمل، ويصبح التحول بين العمليات أسرع، لأنه لا يوجد حاجة لفترات تسخين طويلة.
يتم إتمام عملية تجفيف الرقائق بشكل موحد، مما يقلل من كثافة العيوب ويستقر من عملية الطباعة. والنتيجة هي تحكم أفضل في الأبعاد الحرجة، وعدد أقل من حالات عدم التركيز، بالإضافة إلى عملية مستقرة يمكن التنبؤ بها من وقت لآخر.
ما يجب معرفته قبل استخدامها؟ يمكن استخدام هذه الأجهزة في الأجهزة القائمة، لكن يجب أن يكون هناك تنسيق دقيق. يجب أن تكون المسافة بين جهاز التسخين والرقيقة ضمن نطاق ±0.5 مم للحفاظ على التوحيد في درجة الحرارة.
يجب مطابقة كتلة الحرارة في الجهاز مع معامل الإشعاع في الجانب الخلفي للرقيقة. يجب إجراء اختبارات قصيرة لتحديد معدلات الارتفاع الحراري وأوقات التسخين. بمجرد الانتهاء من ذلك، يمكن استخدام الجهاز على مدار 24 ساعة في اليوم دون الحاجة إلى صيانة كبيرة، وتصمم المصابيح لتعمل لأكثر من 5,000 ساعة بإخراج مستقر.