في تقنية الطباعة بالليثوغرافيا، فإن أي اختلاف في درجة الحرارة بمقدار نصف درجة مئوية أثناء عملية التسخين لا يمكن اعتباره خطأً صغيرًا. فهذا الاختلاف يؤثر على تدفق مادة الفوتوريزست، ويؤدي إلى اختلال في التحكم في الأبعاد الدقيقة، مما يؤثر سلبًا على جودة المنتج. في الواقع، يؤدي ذلك إلى هدر المواد والحاجة إلى إعادة المعالجة، بالإضافة إلى تأخير الجدول الزمني للإنتاج. لذلك، قمنا بتصميم أجهزة قياس التوتر السطحي للرقائق بحيث تمنع حدوث أي تغيرات حرارية قبل وصولها إلى الرقاقة نفسها.
ما الذي يهم من الناحية التقنية؟ نستخدم عناصر أشعة تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة في تصميم هذه الأجهزة، مما يجعل الحرارة تنتشر بسرعة وبشكل نظيف، دون أي خطر من وجود جسيمات. في المنطقة النشطة، يظل التوحيد في درجة الحرارة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، كما أن قابلية التكرار مستقرة من رحلة إلى أخرى. تم تصميم هذه الأجهزة للاستخدام في غرف نظيفة من الدرجة 1–100، حيث تتميز بمواد لا تنتج غازات، بالإضافة إلى سطح ناعم يساعد على تقليل عدد الجسيمات. كما أن هذه الأجهزة يمكن تركيبها بسهولة في الأماكن المخصصة لها، وتتوافق مع أنظمة التغليف والتسخين الموجودة حاليًا.
لماذا تعمل هذه الأجهزة في عملية معالجة الفوتوريزست؟ كل شيء في عملية معالجة الفوتوريزست يعتمد على درجة الحرارة. فإزالة المذيبات، وخصائص اللزوجة، والتوتر السطحي كلها تتأثر بدرجة الحرارة والوقت. إذا تم تحديد درجة الحرارة بشكل صحيح، فإن سمك الخطوط وسلوك الحواف سيكونان مستقرين. والنتيجة هي تقليل الأخطاء، وتحقيق درجة عالية من السيطرة، بالإضافة إلى تقليل الهدر. كما أن التحكم السريع في درجة الحرارة والعمل بشكل مستقر يساعد في تقليل استهلاك الطاقة، وتم تحديد معايير الاستقرار لضمان استمرار العمل على مدار 24 ساعة في اليوم.
الجوانب العملية يتم تركيب هذه الأجهزة عن طريق توصيل الطاقة وإشارات التحكم بالنظام الرئيسي، ثم ضبط درجة الحرارة المناسبة للرقاقة. تعمل هذه الأجهزة بشكل أفضل عند التأكد من سلامة أنظمة الختم وتدفق الهواء في الغرفة؛ فإذا تم تجاهل ذلك، فقد يحدث اختلافات في درجة الحرارة. يجب التخطيط للتركيب مسبقًا، والتأكد من أن الإعدادات مناسبة لنوع الرقاقة المستخدمة قبل بدء العملية الإنتاجية.