用于光刻机的石英玻璃防护罩

Fri, 17 Jul 2026 01:55:28 +0800

保持环境清洁：为何我们使用高纯度石英作为加热介质
在100级洁净室中，加热的目的不仅仅是让物体变热，更重要的是要防止颗粒物的侵入。
在这样的环境中，普通的加热元件简直就是灾难——它们会释放出各种杂质，还会散发出挥发性有机化合物，这些物质会在短时间内破坏一批晶圆。为避免这种情况，我们将红外灯置于高纯度石英屏蔽层后面。
之所以要这么做，是因为大多数玻璃都含有硼或钠等杂质。在高温下，这些杂质会开始移动，这对保持晶圆的纯净度极为不利。而熔融石英则极为纯净，因此不会释放任何杂质。此外，它还能很好地抵御热冲击。即使使用高功率的灯泡，也不必担心屏蔽层会被损坏。
不过，材料本身只是问题的一半。真正的关键在于其表面处理工艺。我们会把石英打磨得像镜子一样光滑。因为，微小的凹坑和裂缝实际上就像磁铁一样，容易吸附灰尘。只有表面光滑，灰尘才无处藏身。一旦这些灯泡被安装好，屏蔽层就能起到隔离作用，防止卤素气体泄漏到车间空气中。
当然，这也存在一些弊端。高纯度石英虽然能让短波红外线透过，但它并不能起到绝缘作用。虽然目标区域能得到足够的热量，但装置的外壳也会变得非常热。因此，必须采取有效的冷却措施。无论是使用风扇还是水冷装置，都需要有办法来处理这些热量。如果风速不够，那么灯泡的末端和连接器就容易被烧坏。
我们设计的这种产品就是为了方便替换。因为在高精度生产线上，哪怕有一粒灰尘，都可能导致生产失败。

盾牌 on Pure Quartz Infrared Heaters

用于光刻机的石英玻璃防护罩