http://pure-quartz-ir-heater.com/zh/tags/%E6%B5%8B%E9%87%8F/ Recent content in 测量 on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo zh Mon, 29 Jun 2026 02:53:47 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/zh/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ Mon, 29 Jun 2026 02:53:47 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/zh/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="晶圆表面张力测量加热器"></p> <p>在光刻工艺中，无论是在软烘烤还是硬烘烤过程中，温度出现半摄氏度左右的波动都绝非“小误差”。这样的波动会改变光刻胶的流动性，进而影响关键尺寸的控制，最终导致产品合格率下降。在生产线上，这直接意味着产品报废、需要返工，以及生产进度延迟。我们设计的晶圆表面张力测量加热器，就是为了在热量影响到晶圆之前就将其控制住。</p>