http://pure-quartz-ir-heater.com/zh/tags/%E6%8E%A2%E6%B5%8B%E5%99%A8/ Recent content in 探测器 on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo zh Fri, 26 Jun 2026 01:31:43 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/zh/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 26 Jun 2026 01:31:43 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/zh/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="椭偏法晶圆探针加热器"></p> <p>在光刻工艺中，即使在软烘烤过程中只有半度的偏差，也足以导致光阻层的厚度出现异常。为此，我们设计了椭圆偏振仪用晶圆探针加热器，以便在偏差出现之前就加以抑制。该加热器的设计充分考虑了晶圆干燥、光阻预烘烤以及曝光后的烘烤过程中的温度特性——因为在这些过程中，温度的均匀性直接决定了设备的性能。</p>