Trên mặt sàn sản xuất, chỉ một lần biến động nhiệt độ trong quá trình xử lý nhiệt nhanh là đủ để làm sai lệch các kích thước quan trọng trong lithography và khiến nhiều wafer bị loại bỏ. Bạn cần nhiệt độ tác động ngay lập tức, giữ ổn định và lặp lại qua từng chu kỳ. Chúng tôi chế tạo hệ thống đèn RTP cung cấp khả năng kiểm soát đó mà không làm vượt ngân sách của nhà máy.
Điều gì quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi kết hợp nền tảng RTP của bạn với các tùy chọn đèn halogen sóng ngắn hoặc sóng trung, điều chỉnh cho tốc độ tăng nhanh và kiểm soát ổn định. Bao quang và hình học gương phản xạ được chọn để định hình hồ sơ nhiệt trên toàn bộ wafer. Bạn có thể tin tưởng vào độ đồng nhất ở mức wafer trong khoảng ±0.1°C và khả năng lặp lại quá trình nướng photoresist nằm trong ngân sách nhiệt chặt chẽ.
Hệ thống tương thích với phòng sạch từ Class 1 đến Class 100, với việc phát sinh hạt bụi thấp và không có khí thoát ra sẽ làm ô nhiễm các lớp phim. Nguồn cung cấp điện được điều chỉnh cho công cụ, với các tùy chọn kết nối và điện áp phù hợp với thông số kỹ thuật của OEM, vì vậy việc thay thế là dễ dự đoán và quá trình khai thác nhanh chóng.
Tại sao nó hoạt động ở nơi bạn sử dụng
Trong các dây chuyền lithography và các ô RTP, bạn thực hiện các bước nướng mềm, nướng cứng và tôi luyện, nơi độ chính xác nhiệt độ trực tiếp xác định độ chồng lấp, độ rộng đường và hiệu suất khuyết tật. Đèn của chúng tôi ổn định cửa sổ nướng, giảm thiểu công việc làm lại và giữ thời gian chu kỳ chặt chẽ. Việc sử dụng năng lượng được tối ưu hóa nhờ công suất đèn hiệu quả và liên kết nhiệt chặt chẽ, giúp giảm chi phí trên mỗi wafer.
Độ tin cậy được thiết kế cho hoạt động 24/7, với dữ liệu thực địa cho thấy hàng nghìn giờ ở mức đầu ra ổn định và ít dừng không dự kiến. Việc thay thế đèn ít hơn có nghĩa là thời gian ngừng hoạt động ít hơn và ít linh kiện dự trữ hơn trong kho.
Dưới đây là các chi tiết thực tiễn
Việc lắp đặt cần căn chỉnh quang học chính xác và xử lý sạch sẽ đèn và gương phản xạ để giữ độ đồng nhất ở mức cần thiết. Việc khớp đường cong đèn với thiết kế buồng RTP cụ thể là điều không thể thương lượng; một sự không khớp sẽ hiện ra như là sự sai lệch trong chữ ký quy trình.
Chúng tôi cung cấp bản đồ tương thích và hỗ trợ thiết lập, nhưng bạn vẫn phải xác nhận hình học buồng, giao diện nguồn và các hạn chế làm mát trước khi thay thế. Đối xử với đèn như một vật tiêu hao đã được hiệu chuẩn: theo dõi giờ, đầu ra và độ lệch nhiệt độ, và thay thế theo lịch trình để bảo vệ năng suất.