http://pure-quartz-ir-heater.com/uk/tags/%D1%81%D1%83%D1%85%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Сухий on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo uk Thu, 25 Jun 2026 01:29:01 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/uk/posts/how-to-dry-wafer-after-cleaning/ Thu, 25 Jun 2026 01:29:01 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/uk/posts/how-to-dry-wafer-after-cleaning/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Як висушити віфер після чищення"></p> <p>На виробничій лінії, віфер, який виходить з процесу чищення, не є справді чистим, поки не стане абсолютно сухим. Будь-які залишки води, мікроплями чи нерівномірності поверхневого натягу можуть призвести до проблем із зчепленням фоточутливого матеріалу та дефектів на поверхні віфера під час процедури літографії. Коли товщина шару фоточутливого матеріалу становить менше 2 нм, стандартний цикл сушіння вже не є ефективним. Основною причиною є тепловий ефект.</p> <h3 id="що-насправді-має-значення-з-технічної-точки-зору">Що насправді має значення з технічної точки зору</h3> <p>Ми замінюємо метод широкоспектрального нагрівання на цільове надання енергії за допомогою ІЧ-випромінювання. Довжина хвилі підбирається так, щоб вона впливала саме на максимум поглинання води, а не на сам матеріал. Це забезпечує однорідність температури на всій поверхні віфера – припуск ±0,1°C.</p>