У літографії відхилення температури на півградуса Цельсія під час процедури висушування не є „незначною похибкою“. Це призводить до зміни характеристик фотополімеру, порушує контроль за критичними розмірами елементів та спричиняє відхилення результатів від нормативних значень. На виробництві це призводить до втрати продукції, необхідності повторної обробки та затримок у графіку виробництва. Ми розробили пристрої для вимірювання напруги на поверхні пластини, щоб запобігти тепловим коливанням ще на етапі передачі пластини до процесора.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо елементи короткочастотного інфрачервоного випромінювання, розроблені на основі кварцу. Це забезпечує швидке та ефективне нагрівання без ризику утворення частинок. У активній зоні однорідність температури на поверхні пластини становить ±0,1°C, а точність результатів залишається стабільною під час кожного циклю обробки. Пристрій призначений для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; матеріали, з яких він виготовлений, мають низький рівень випаровування, а поверхня має таку текстуру, що зменшує кількість частинок. Пристрій може бути легко встановлений у стандартні монтажні кронштейни та сумісний з існуючими системами нагріву.
Чому це ефективно під час обробки фотополімеру
Усі процеси, пов’язані з фотополімером, є чутливими до температури. Видалення розчинників, в’язкість та напруга на поверхні – все це залежить від температури та часу. Якщо стабілізувати параметри нагріву, можна досягти передбачуваного розміру елементів та їх форми. Це дозволяє зменшити кількість відхилень, покращити контроль та зменшити кількість відходів. Швидке регулювання температури та стабільна робота також дозволяють економити енергію. Рівень надійності пристрою становить 24/7.
Практичні аспекти
Встановлення пристрою полягає у підключенні необхідних сигналів живлення та керування до основної платформи, а також у налаштуванні параметрів нагріву відповідно до характеристик фотополімеру. Пристрій працює найкраще, якщо перевірити герметичність приміщення та рух повітря. Якщо цього не зробити, можуть виникнути локальні відхилення температури. Необхідно заздалегідь спланувати процес інтеграції пристрою та перевірити його роботу на конкретних умовах обробки.