http://pure-quartz-ir-heater.com/tr/tags/%C3%B6l%C3%A7%C3%BCm/ Recent content in Ölçüm on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo tr Mon, 29 Jun 2026 02:53:46 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/tr/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ Mon, 29 Jun 2026 02:53:46 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/tr/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Wafer yüzey gerilimi ölçüm ısıtıcısı"></p> <p>Litografide, yumuşak fırınlama veya sert fırınlama sırasında meydana gelen yarım derece Celsius’luk bir değişim “küçük bir hata” olarak kabul edilemez. Bu tür değişimler, fotoresist akışını bozar, <a href="https://o-yate.net">kritik</a> boyut kontrollerini bozular ve üretim kalitesini olumsuz etkiler. Üretim sürecinde bu durum doğrudan atık malzemelere, yeniden işlemlere ve zaman kaybına yol açar. Biz ise, termal değişikliklerin waferlere ulaşmasını engellemek için özel ısıtıcılar geliştirdik.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar</strong><br> Kuvars tabanlı bir tasarımla kısa dalga boylu kızılötesi elemanlar kullanılır; böylece ısı hızlı ve temiz bir şekilde iletilir; parçacık oluşma riski yoktur. Aktif bölgede waferin homojenliği ±0,1°C civarında tutulur ve tekrarlanabilirlik her seferinde aynı kalır. Isıtıcı, 1–100 sınıfı temiz oda koşullarında kullanılmak üzere tasarlanmıştır; düşük gaz salınımı olan malzemeler kullanılır ve yüzey pürüzlülüğü de parçacık sayısını azaltır. Standart montaj şekillerine uygun olup, mevcut kaplama/fırınlama sistemleriyle sorunsuz entegre olur.</p>