หลอดไฟให้ความร้อนแบบอินฟราเรดแบบทวินทิวบ์

Mon, 22 Jun 2026 19:08:49 +0800

ในขั้นตอนการผลิตด้วยเทคโนโลยีลิโธกราฟีนั้น การอบฟอโตรีซิสต์ไม่ใช่เพียงการเปิดเครื่องเท่านั้น แต่เป็นขั้นตอนสำคัญในการควบคุมขนาดของโครงสร้างที่สร้างขึ้น หากมีความผิดพลาดเพียง 2°C ขนาดของเส้นที่สร้างขึ้นก็อาจเปลี่ยนแปลงไปถึงระดับนาโนเมตร เราจึงออกแบบหลอดอินฟราเรดแบบคู่ขึ้นมา เพื่อลดความผันผวนดังกล่าว

สิ่งที่สำคัญทางเทคนิคก็คือ หลอดอินฟราเรดนี้ใช้คลื่นความยาวสั้น ซึ่งช่วยให้พลังงานถูกส่งตรงไปยังฟอโตรีซิสต์โดยไม่ทำให้ชั้นวัสดุด้านล่างไหม้เสียหาย หลอดอินฟราเรดแบบคู่ช่วยให้แสงกระจายตัวอย่างสม่ำเสมอทั่วWafer ทำให้ความสม่ำเสมอของพื้นผิวอยู่ที่ ±0.1°C ความเร็วในการตอบสนองอยู่ที่น้อยกว่า 2 วินาที ดังนั้นเมื่อมีการเปลี่ยนค่าการตั้งค่า โครงสร้างที่สร้างขึ้นก็จะเปลี่ยนแปลงทันที ความแม่นยำในการผลิตอยู่ในระดับเพียงหลายร้อยส่วนในหนึ่งองศาเท่านั้น

ส่วนภาชนะที่ทำจากควอตซ์และโครงสร้างของตัวสะท้อนแสงนั้น ช่วยให้ไม่มีอนุภาคเกิดขึ้นเลย ทำให้สามารถผลิตในสภาพแวดล้อมที่สะอาดตามมาตรฐาน Class 1–100 ได้

เหตุผลที่เทคโนโลยีนี้ใช้งานได้ดีในกระบวนการผลิตก็คือ ช่วยให้ได้ขนาดของโครงสร้างที่แม่นยำ ลดการต้องทำการผลิตใหม่ และลดความผิดพลาดในการผลิต ค่าความผิดพลาดจากการอบฟอโตรีซิสต์ก็ลดลงด้วย นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะหลอดอินฟราเรดจะทำหน้าที่ในการให้ความร้อนแก่ฟอโตรีซิสต์เท่านั้น ไม่ใช่กับชั้นวัสดุอื่นๆ

หน่วยงานต่างๆ สามารถใช้หลอดอินฟราเรดนี้ได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีความผิดพลาดในการผลิตน้อยกว่า 5% นั่นหมายความว่าจำเป็นต้องมีการบำรุงรักษาน้อยลง และสามารถคาดการณ์ค่าใช้จ่ายในการซ่อมแซมได้

มีข้อควรระวังเล็กน้อยดังนี้: การติดตั้งหลอดอินฟราเรดนี้จำเป็นต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่เหมาะสม และต้องมีการตรวจสอบการจัดวางหลอดให้ถูกต้อง ประสิทธิภาพของหลอดอินฟราเรดนี้ขึ้นอยู่กับระยะห่างระหว่างตัวสะท้อนแสงกับพื้นผิวของWafer หลอดอินฟราเรดนี้สามารถทำงานได้ในช่วงแรงดันไฟฟ้าที่จำกัด และจำเป็นต้องมีการควบคุมอุณหภูมิให้อยู่ในระดับที่เหมาะสมด้วย

ควรวางแผนการเปลี่ยนหลอดอินฟราเรดในช่วงเวลาที่มีการบำรุงรักษาเท่านั้น ไม่ควรรอจนกระทั่งเกิดความเสียหายก่อน

ฝาแฝด on Pure Quartz Infrared Heaters

หลอดไฟให้ความร้อนแบบอินฟราเรดแบบทวินทิวบ์