ทำไมเราถึงต้องทดสอบตัวเครื่องทำความร้อนแต่ละชิ้นด้วย? และทำไมมันถึงมีความสำคัญกับคุณด้วย?
ในโลกของการทำความร้อนวัตถุประเภทเวเฟอร์นั้น ความผิดพลาดเพียงเล็กน้อยก็อาจส่งผลร้ายแรงได้ หากมีการรั่วไหลของกระแสไฟฟ้าเพียงเล็กน้อย ก็เท่ากับว่าคุณต้องทิ้งวัตถุดิบซิลิคอนทั้งชุดไปเลย
นั่นคือเหตุผลที่เราไม่ทำการทดสอบเฉพาะตัวอย่างเท่านั้น เราจะไม่เพียงแค่ทดสอบเฉพาะไม่กี่ชิ้นเท่านั้น แต่ตัวเครื่องทำความร้อนทุกชิ้นที่ออกจากโรงงานของเราจะต้องผ่านการทดสอบความต้านทานไฟฟ้า 100% โดยไม่มีข้อยกเว้น
อันตรายจากปรากฏการณ์ “อาร์ก”
เพื่อให้มีขนาดเล็กลง ระยะห่างระหว่างขั้วไฟฟ้ากับตัวเครื่องที่เชื่อมต่อกับพื้นดินก็จะน้อยมาก หากการป้องกันการรั่วไหลของไฟฟ้าล้มเหลว ก็จะเกิดปรากฏการณ์อาร์กขึ้น
ปัญหาไม่ได้อยู่ที่ตัวเครื่องทำความร้อนเท่านั้น แต่ปรากฏการณ์อาร์กยังสามารถทำลายเวเฟอร์ได้อีกด้วย เพื่อป้องกันเรื่องนี้ เราจึงทดสอบความต้านทานไฟฟ้าให้สูงที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ โดยใช้แรงดันไฟฟ้าที่สูงกว่าที่จะเกิดขึ้นในการใช้งานปกติ เพื่อให้มั่นใจว่าตัวเครื่องจะไม่พังเมื่อมีกระแสไฟฟ้าสูงขึ้น
การค้นหาจุดรั่วไหล
อย่างที่รู้กัน ตัวเครื่องทำความร้อนอาจผ่านการทดสอบความต้านทานไฟฟ้าได้ แต่ก็ยังอาจมีจุดรั่วไหลอยู่ได้
เราวัดค่าความต้านทานไฟฟ้าในหน่วยเมกะโอห์ม เพื่อค้นหาสิ่งที่มองไม่เห็น เช่น สิ่งสกปรกขนาดเล็กหรือความชื้นที่อยู่ภายในตัวเครื่อง หากค่าความต้านทานต่ำเกินไป กระแสไฟฟ้าก็จะรั่วเข้าไปในโครงสร้างของเครื่อง
สิ่งนี้จะก่อให้เกิดสัญญาณรบกวนทางไฟฟ้า ซึ่งสำหรับเครื่องมือที่ใช้ในการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์แล้ว สัญญาณรบกวนถือเป็นปัญหาใหญ่ หากตัวเครื่องไม่ผ่านเกณฑ์ขั้นต่ำที่เรากำหนดไว้ ก็ต้องทิ้งมันไปเลย
ความจริงเกี่ยวกับโรงงานของเรา
การทดสอบอย่างเข้มงวดช่วยให้เราสามารถค้นหาข้อบกพร่องที่เกิดขึ้นได้เพียงหนึ่งในพันชิ้นเท่านั้น แต่เราต้องยอมรับว่าการทดสอบของเรานั้นครอบคลุมเฉพาะส่วนของเราเท่านั้น
สายไฟและอุปกรณ์เชื่อมต่อของคุณก็ต้องมีความสามารถในการรับแรงดันไฟฟ้าในระดับเดียวกันด้วย หากคุณใช้สายไฟที่มีขนาดเล็กเกินไปหรือการเชื่อมต่อที่ไม่ดี ก็จะเกิดจุดอ่อนขึ้น ซึ่งการทดสอบของเราไม่สามารถแก้ไขได้ เราจะให้ความมั่นใจในด้านความปลอดภัยให้คุณ แต่ความน่าเชื่อถือสุดท้ายนั้นขึ้นอยู่กับวิธีที่คุณนำมันมาใช้งาน
เป้าหมายก็คือการทำให้เราเป็นผู้ดูแลด้านคุณภาพของตัวเครื่องทำความร้อน เพื่อให้คุณไม่ต้องมานั่งแก้ปัญหาเรื่องไฟฟ้ารั่วในช่วงการติดตั้งเครื่อง
นั่นคือการทำให้ตัวเครื่องทำความร้อนเป็นสิ่งที่คุณไม่ต้องกังวลเมื่อมีปัญหาเกิดขึ้น