Почему мы переходим на использование инфракрасного излучения для обработки пластин
В последнее время наблюдается активное использование инфракрасного излучения в процессах обработки пластин. Это имеет смысл: зачем использовать опасные химические растворители или создавать большое количество углеродных выбросов, если это не нужно?
Принцип действия инфракрасного излучения довольно прост и эффективен. Вместо того чтобы нагревать всю камеру, в которой находится пластина, излучение направляется непосредственно на поверхность пластины. Это позволяет достичь желаемой температуры гораздо быстрее. К тому же, поскольку для выполнения задачи не требуются газы, образующиеся в результате сгорания, или катализаторы на основе свинца, этот метод соответствует всем требованиям к экологичности, которые предъявляются современными производственными площадками.
Экологичность процесса
Если вы использовали традиционные методы сушки, то знаете, что в таких случаях горячий воздух распространяется по всей камере, что является пустой тратой ресурсов. Инфракрасное излучение работает по-другому: оно использует коротковолновое излучение, которое проникает прямо в слой покрытия или фоторезиста. В результате достигается желаемая температура гораздо быстрее. К тому же, поскольку для выполнения задачи не требуются газы или катализаторы, этот метод соответствует всем требованиям к экологичности.
Баланс между расстоянием и температурой
Здесь возникают сложности. Расстояние между лампой инфракрасного излучения и пластиной имеет большое значение. Если лампа находится слишком близко, возникают «горячие точки» на поверхности пластины; если же лампа слишком далеко, процесс сушки замедляется, что приводит к потерям. Мы тратим много времени на настройку параметров, чтобы обеспечить правильную температуру на каждом квадратном сантиметре поверхности пластины.
Реальность использования инфракрасного излучения
Инфракрасное излучение действительно является эффективным средством, но оно не является «волшебным» решением. Самая большая проблема – это однородность процесса. Поскольку инфракрасные волны движутся по прямой линии, любые небольшие отклонения в положении лампы приводят к неравномерной обработке поверхности пластины. Чтобы избежать этого, необходимо точно контролировать положение лампы, чтобы пластина оставалась идеально ровной.
Я всегда рекомендую использовать контроллер типа PID с замкнутым циклом управления. Он помогает поддерживать стабильную температуру и предотвращает её чрезмерное повышение в момент достижения конечной температуры.