W litografii odchylenie o pół stopnia Celsjusza podczas procesu suszenia nie jest „małym błędem”. Powoduje to zmiany w zachowaniu farby fotolitograficznej, utrudnia kontrolę wymiarów elementów i wpływa negatywnie na jakość produktu. W praktyce oznacza to konieczność wyrzucenia produktów uszkodzonych, ponownej obróbki oraz opóźnienia w realizacji planów produkcyjnych. Zbudowaliśmy urządzenia do pomiaru napięcia powierzchniowego płytek krzemowych, aby zapobiec zmiennościom termicznym jeszcze przed tym, jak dotrą one do samej płytki.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Używamy elementów podczerwieni krótkofalowej w konstrukcji opartej na kwarcu – dzięki temu ciepło jest dostarczane szybko i efektywnie, bez ryzyka powstania cząstek. Na całej powierzchni aktywnej strefy jednorodność temperatury wynosi ±0,1°C, a powtarzalność jest stała przy każdym procesie. Urządzenie jest przeznaczone do użytku w środowiskach o czystości klasy 1–100; jego materiały charakteryzują się niskim poziomem emisji gazów, a powierzchnia jest tak przygotowana, by minimalizować liczbę cząstek. Urządzenie pasuje do standardowych montaży i łatwo integruje się z istniejącymi systemami nanoszenia warstw i suszenia.
Dlaczego to działa w procesie obróbki farby fotolitograficznej? Wszystko jest wrażliwe na temperaturę – usuwanie rozpuszczalników, lepkość i napięcie powierzchniowe zależą od temperatury i czasu. Jeśli ustabilizujemy parametry procesu suszenia, uzyskamy przewidywalną grubość warstwy oraz stabilne właściwości krawędzi elementów. Dzięki temu mniej dochodzi do błędów, granice kontroli są bardziej precyzyjne, a ilość produktów uszkodzonych jest mniejsza. Szybka regulacja temperatury i stabilna praca urządzenia przyczyniają się również do mniejszego zużycia energii. Celujemy w ciągłą pracę urządzenia 24/7.
Aspekty praktyczne Instalacja polega na dopasowaniu mocy i sygnałów sterujących do platformy, na której znajduje się urządzenie, a następnie na dostosowaniu parametrów termicznych do specyfiki używanej farby fotolitograficznej. Urządzenie pracuje najlepiej, gdy sprawdzimy szczelność komory i przepływ powietrza – bez tego mogą pojawić się lokalne różnice temperatury. Należy wcześnie zaplanować integrację urządzenia i zweryfikować jego parametry na podstawie specyfiki używanej farby przed rozpoczęciem masowej produkcji.