Fabriek voor hoge temperatuurthermische tape

Thu, 02 Jul 2026 03:17:45 +0800

Op de productieruimte betekent temperatuurschwankingen tijdens het drogen van de wafers of het bakken van de fotoresist niet zomaar een klein probleem op het SPC-dashboard. Het leidt juist tot verminderde opbrengst. Onze oplossing voor hoge temperaturen maakt gebruik van kortegolflengte-infraroodverwarming (NIR). Hierdoor wordt er stabiele en snelle warmte toegepast op het substraat, zonder dat dit in contact komt met het substraat zelf.

Wat belangrijk is
De energie van NIR dringt snel door het substraat heen, zodat de gewenste temperatuur snel wordt bereikt en behouden blijft. Er is sprake van een uniformiteit van ±0,1°C over het hele oppervlak van de wafer. Dit zorgt er vervolgens voor dat de cruciale dimensies na de bestraling nauwkeurig blijven. Het systeem kan zowel zachte als harde bakprocessen uitvoeren, met strikte controle over de warmtetoevoer. Hierdoor neemt de variabiliteit in de warmteoverdracht af.

Tape on Pure Quartz Infrared Heaters

Fabriek voor hoge temperatuurthermische tape