Verwarmer voor het meten van de oppervlaktespanning van wafers

Mon, 29 Jun 2026 02:53:47 +0800

In de lithografie is een afwijking van een halve graad Celsius tijdens het proces van ‘soft bake’ of ‘hard bake’ zeker geen ‘kleine fout’. Deze afwijkingen beïnvloeden de stroming van het fotorezist, verstoren de controle over de belangrijkste dimensies en zorgen er ook voor dat de productkwaliteit niet voldoet aan de specificaties. In de praktijk leidt dit tot verspilling, herwerking en vertragingen in het productieproces. We hebben onze heaters ontworpen om thermische variaties al voordat ze de wafer bereiken, te voorkomen.

Meting on Pure Quartz Infrared Heaters

Verwarmer voor het meten van de oppervlaktespanning van wafers