Op de productielijn zijn temperatuursafwijkingen van de RTP niet alleen zichtbaar op grafieken – ze leiden ook tot fouten bij het verhitten van de fotoresistenten. Wanneer de lamp minder goed begint te werken, neemt de thermische uniformiteit af en wordt het mogelijk om nog maar binnen beperkte parameters te werken. We hebben deze vervangende lampen ontworpen zodat de snelle thermische cycli altijd binnen de vereiste parameters blijven, zonder dat er problemen optreden.
Wat belangrijk is onder de motorkap
We kiezen voor halogeenlampen met een precisiegedefinieerde filamentstructuur en kortegolflengte-uitstoot. Hierdoor wordt de energie efficiënt overgedragen op de wafer. De kwartskern is zeer zuiver en RF-stabiel, waardoor de lamp goed kan werken in omgevingen van klasse 1–100, zonder dat het aantal deeltjes toeneemt.De uitstoot blijft gedurende meer dan 5.000 uur constant, waardoor de thermische parameters goed kunnen worden behouden.
Waarom dit belangrijk is in de litografie en verwerking van fotoresistenten
Zowel zacht als hard verhitten vereisen nauwkeurige temperatuurregelingen om de verwijdering van oplosmiddelen en spanningen in de film onder controle te houden. Onze lampen zorgen voor een uniforme temperatuur op het niveau van de wafer, met een foutmarge van ±0,1°C. Dit zorgt voor een stabiele lijnbreedte, minder defecten en hogere opbrengsten. Het stabiele spectrum zorgt bovendien voor nauwkeurige temperatuurregeling, zodat u consistente resultaten krijgt, ongeacht de hoeveelheid producten die worden geproduceerd. De energieverbruik is optimaal, en de lange levensduur betekent minder lamppatronen nodig – waardoor het productieproces soepel kan blijven verlopen.
Praktische details
De installatie is eenvoudig, maar u moet de lamp aanpassen aan de specifieke geometrie van de RTP-chamber en de bestaande lamphouizen. Controleer eerst het type aansluiting en de lengte van de boog. Voer na het vervangen van de lamp een kalibratie uit. Plan de eerste kalibratie na de eerste 100 uur gebruik in, zodat de consistentie van de procesparameters gewaarborgd blijft.