http://pure-quartz-ir-heater.com/ko/tags/%ED%83%90%EC%B9%A8/ Recent content in 탐침 on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo ko Fri, 26 Jun 2026 01:31:42 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ko/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 26 Jun 2026 01:31:42 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ko/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="에릴리토메트리 웨이퍼 프로브 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크 과정 중에 단지 0.5도만큼의 변동이 있어도, 정밀하게 제어된 포토레지스트의 두께가 변할 수 있습니다. 엘립소메트리 웨이퍼 프로브 히터는 바로 그러한 변동을 사전에 방지하기 위해 만들어졌습니다. 이 장치는 웨이퍼 건조, 포토레지스트 예비 베이크, 그리고 노출 후 베이크 과정에서의 온도 균일성을 유지하기 위해 설계되었습니다. 여기서 온도 균일성은 장치의 형상을 결정하는 핵심 요소입니다.</p>