http://pure-quartz-ir-heater.com/ko/tags/%EC%A6%9D%EB%B0%9C%EA%B8%B0/ Recent content in 증발기 on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo ko Thu, 04 Jun 2026 00:57:21 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ko/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ Thu, 04 Jun 2026 00:57:21 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ko/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="에바텍 증발기 가열 램프"></p> <p>Fab 라인에서 포토레지스트 베이크 온도가 0.5°C만 변해도 대량 폐기 손실이 발생할 수 있다. <a href="https://henruite.com">Evatec</a> 증착기를 사용 중이고, 열 예산은 고정되어 있다. 가열 램프는 실제로 프로세스 의도가 웨이퍼에 전달되는 부분이다. 조금이라도 벗어나면 리소그래피 오버레이에 영향을 미치고 에지 제외가 점차 발생하기 시작한다.</p>