웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

Sun, 12 Jul 2026 05:46:12 +0800

웨이퍼 세척에 적외선 가열을 사용할 때 안전을 지키는 방법
솔직히 말해서, 인화성이나 폭발성이 있는 세척제가 들어 있는 도구 안에 적외선 램프를 넣는 것은 매우 위험한 일입니다. 작은 스파크라도 발생하거나 램프의 외관에 균열이 생기면, 그건 단순히 도구가 고장난 것이 아니라 재앙을 의미합니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 전자 부품들을 보호하는 ‘요새’를 만듭니다. 특수한 캡슐화 및 밀봉 기술을 사용하여 화학물질과 전기가 절대로 접촉하지 않도록 합니다.
비밀은 바로 밀봉에 있습니다.
우리는 단순히 램프를 포장하는 것으로 끝내지 않습니다. 여러 단계의 과정을 거칩니다. 먼저 램프를 고순도의 석영 소재로 둘러싸고, 그 다음 전선이 연결되는 부분에는 내화학성이 뛰어난 가스켓과 특수 에폭시 수지를 사용하여 모든 것을 완전히 밀봉합니다. 이렇게 하면 휘발성 유기화합물이 전자 부품에 침투하는 것을 막을 수 있습니다. 우리는 분해되거나 이상한 가스가 나오지 않는 재료만을 사용합니다. 이것이 바로 안심할 수 있는 방법입니다.
스파크를 막는 방법
폭발성 환경에서는 열도 문제가 되지만, 진짜 위험 요소는 스파크입니다. 단 한 번의 스파크만으로도 큰 문제가 생길 수 있습니다.
그래서 우리는 배선에 매우 신경을 씁니다. 어떤 부품도 공기와 접촉하지 않도록 합니다. 캡슐화된 구조 덕분에 전선과 납땜 부위가 완전히 감춰집니다. 전기가 노출되지 않으면 스파크도 발생하지 않습니다. 그것만큼 간단합니다.
타협점
물론, 필라멘트와 웨이퍼 사이에 보호층을 두면 약간의 열이 줄어듭니다. 그로 인해 방사된 열의 양도 약간 줄어듭니다. 하지만 이건 큰 문제가 되지 않습니다. 파워 설정을 조절하거나 웨이퍼를 조금 더 오랫동안 그대로 두면 목표 온도에 도달할 수 있습니다.
실제 성능
이런 램프들은 혹독한 환경에서도 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 일반적인 램프라면 몇 초 만에 고장 날 정도의 화학물질 충격도 이 램프들은 견뎌냅니다.
반도체 장비에서의 열 변화가 얼마나 심한지 알기 때문에, 우리는 모든 램프를 누수 테스트를 거칩니다. 만약 밀봉이 실패한다면 램프는 금방 고장납니다. 그래서 우리는 순수한 와트 수보다는 밀봉의 완전성을 더 중요하게 생각합니다. 약간 더 뜨겁더라도 안전한 램프가 낫습니다.

고온용 테이프 제조 공장

Thu, 02 Jul 2026 03:17:45 +0800

팹에서는 웨이퍼 건조나 포토레지스트 굽기 과정에서 발생하는 온도 변동이 단순히 SPC 차트상의 작은 오차에 불과한 것이 아닙니다. 이는 결국 생산 효율 저하로 이어집니다. 저희는 단파 적외선(NIR)을 활용한 고온 가열 방식을 사용합니다. 이 방식은 기판에 직접 닿지 않으면서도 안정적이고 빠른 열을 전달할 수 있습니다.

온도 on Pure Quartz Infrared Heaters

웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

고온용 테이프 제조 공장