팹 램프용 석영 유리 실드

Fri, 17 Jul 2026 01:55:28 +0800

깨끗함을 유지하기 위해: 왜 고순도 석영을 사용하는가?
클래스 100급 청정실에서 작업할 때, 가열이란 단순히 물체를 뜨겁게 만드는 것이 아닙니다. 그것은 미세한 입자들과의 지속적인 싸움입니다.
일반적인 가열 요소들은 이러한 환경에서는 치명적입니다. 이러한 요소들은 자신의 파편들을 방출하고, 휘발성 유기 화합물(VOCs)을 누출시켜서 웨이퍼들을 순식간에 망가뜨릴 수 있습니다. 이를 막기 위해 우리는 고순도 석영으로 만든 보호막 뒤에 적외선 램프를 설치합니다.
왜 이런 방식이 중요한가요?
대부분의 유리에는 붕소나 나트륨과 같은 불순물이 들어 있습니다. 고온에서는 이러한 불순물들이 이동하기 시작합니다. 웨이퍼를 깨끗하게 유지하려면 이는 좋지 않은 상황입니다. 그래서 우리는 매우 순수한 융합 실리카를 사용합니다. 그래야만 아무것도 누출되지 않습니다.
게다가, 융합 실리카는 열충격에도 잘 견딥니다. 고출력 램프를 사용해도 보호막이 부서질 걱정 없이 빠르게 열을 발생시킬 수 있습니다.
하지만 재료 자체만으로는 충분하지 않습니다. 진짜 핵심은 표면 처리에 있습니다.
우리는 석영을 거울처럼 반짝이도록 연마합니다. 왜냐하면 미세한 구멍과 틈새들은 먼지가 모이는 곳이 되기 때문입니다. 매끄러운 표면이라면 미세한 입자들이 숨을 곳이 없습니다. 램프가 연결된 후에는 보호막이 벽 역할을 하여 할로겐 가스가 밖으로 새어나가는 것을 막고, 필라멘트에서 나오는 잔여물이 공기 중으로 들어가는 것을 방지합니다.
하지만 한 가지 단점이 있습니다. 고순도 석영은 단파 적외선을 잘 통과시키지만, 절연체로는 작동하지 않습니다. 따라서 목표한 부위에는 강한 열이 가해지지만, 기기 자체도 뜨거워집니다.
그러므로 냉각 방법을 제대로 세워야 합니다. 팬을 사용하든, 수랭식 장치를 사용하든, 반사된 열을 처리할 계획이 필요합니다. 공기 흐름이 약하다면 램프의 끝부분이 손상될 수 있습니다.
우리는 이러한 램프들을 간단하게 교체할 수 있도록 설계했습니다. 왜냐하면 고정밀 생산 환경에서는 아주 작은 먼지 한 점이 성공적인 생산과 실패를 가르는 결정적인 요소가 되기 때문입니다.

방패 on Pure Quartz Infrared Heaters

팹 램프용 석영 유리 실드