http://pure-quartz-ir-heater.com/ko/tags/%EA%B1%B4%EC%A1%B0%ED%95%98%EB%8B%A4/ Recent content in 건조하다 on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo ko Thu, 25 Jun 2026 01:29:01 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ko/posts/how-to-dry-wafer-after-cleaning/ Thu, 25 Jun 2026 01:29:01 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ko/posts/how-to-dry-wafer-after-cleaning/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="청소한 후 웨이퍼를 어떻게 건조시키나요"></p> <p>생산 현장에서는, 클린룸에서 나온 웨이퍼가 완전히 건조될 때까지는 진정으로 깨끗한 상태라고 할 수 없습니다. 남아 있는 물방울 자국, 미세한 얼룩, 혹은 표면 장력의 불균일성은 이후에 포토레지스트 부착 문제나 리소그래피 과정에서의 결함으로 나타납니다. 프로세스의 정밀도가 2nm 이하로 낮아지면, 일반적인 회전식 건조 방식으로는 충분하지 않습니다. 그 원인은 바로 열입니다.</p>