http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/tags/%E8%92%B8%E7%99%BA%E5%99%A8/ Recent content in 蒸発器 on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo ja Thu, 04 Jun 2026 00:57:21 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ Thu, 04 Jun 2026 00:57:21 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/posts/evatec-evaporator-heating-lamp/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="エバテック蒸発器加熱ランプ"></p> <h1 id="ファブフロアでの重要性">ファブフロアでの重要性</h1> <p>フォトレジストのベークにおける0.5°Cのドリフトは、全ロットを廃棄するのに十分です。Evatecの蒸発装置を使用しており、熱予算は固定されています。加熱ランプは、プロセスの意図が実際にウェーハに影響を与える場所です。少しでも誤差があれば、リソグラフィのオーバーレイに影響を与え、エッジ除外が発生し始めます。</p>