http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/tags/%E7%B7%8A%E5%BC%B5/ Recent content in 緊張 on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo ja Mon, 29 Jun 2026 02:53:46 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ Mon, 29 Jun 2026 02:53:46 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ウェーハ表面張力測定用ヒーター"></p> <p>リソグラフィーにおいて、ソフトベイクやハードベイクの際に半度程度の温度変動があっても、それは「小さな誤差」とは言えません。このような温度変動により、フォトレジストの流れが変わり、重要な寸法制御が乱れ、結果として歩留まりが低下します。実際の生産現場では、これがスクラップや再加工、工程の遅延につながります。私たちは、ウェーハ表面の張力を測定するヒーターを開発し、熱的なばらつきがウェーハに影響を与える前にそれを防ぎます。</p>