http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/tags/%E7%86%B1%E7%9A%84%E3%81%AA/ Recent content in 熱的な on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo ja Thu, 02 Jul 2026 03:17:45 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/posts/high-temperature-thermal-tape-fab/ Thu, 02 Jul 2026 03:17:45 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/posts/high-temperature-thermal-tape-fab/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="高温用テープ製造工場"></p> <p>ファブ内では、ウェーハの乾燥やフォトレジストの<a href="https://henruite.com">焼成時</a>の温度変動は、SPCチャート上のわずかなばらつきに過ぎません。実際には、それによって歩留まりが低下してしまいます。私たちが開発した高温用サーマルテープは、短波長の赤外線を利用しており、基板に触れることなく安定して迅速に熱を供給できます。</p> <p><strong>重要なポイント</strong><br> 赤外線エネルギーはウェーハやテープの層を素早く貫通するため、目標温度にすぐ到達し、その状態を維持できます。ウェーハ全体での温度均一性は±0.1℃程度であり、これにより露光後の寸法精度が保たれます。このシステムは、ソフトベイクとハードベイクの両方に対応し、厳格な温度管理を行うため、フォトレジストの再溶解によるばらつきが減少します。</p>