乾燥 on Pure Quartz Infrared Heaters

工場乾燥工程のエネルギー診断

Wed, 15 Jul 2026 10:34:13 +0800

なぜ、すべてのランプをテストするのか（そして、なぜそれが重要なのか）私たちの工場から出荷されるすべての加熱ランプは、2つの厳しいテストを受けます。それは、高電圧耐性試験と絶縁抵抗試験です。もしこれらのランプをファブで使用しているのであれば、その重要性はお分かりでしょう。高ワット数の部品が狭い空間に詰め込まれているのです。絶縁部分にわずかな漏れがあっても、それは単なるランプの故障にとどまりません。それは短絡を引き起こし、生産ライン全体を破壊したり、最悪の場合、機器自体が危険な存在になってしまいます。 私たちは「バッチサンプリング」は行いません。 多くの企業が10台に1台だけをテストして、うまくいくことを願っているのを見てきました。しかし、私たちはそうしません。すべてのランプをテストします。通常、問題があるのはシール部分やコネクタ部分です。それを見つけるために、私たちは、実際に使用される電圧よりもはるかに高い電圧をランプにかけます。これにより、隠れた欠陥が明らかになります。もし電流が少しでも多く漏れ出せば、そのランプは廃棄処分になります。大変な作業ですが、ラインの設置が終わってから2時間後にランプが壊れるというトラブルを避けるためには必要なことです。 次の段階：絶縁抵抗のチェック 次に、絶縁抵抗をチェックします。これは、帯電回路と外殻との間のオーム値を測定することです。これは、漏れ検査と考えることができます。もし抵抗値が低ければ、何か問題があるということです。おそらく汚染物質が入ったり、石英やセラミックのシールに微細な割れ目があるのでしょう。ファブの環境では、湿気や化学物質が回路に侵入しやすいのです。私たちは、電力が正しく使われているかを確認します。つまり、工作物を加熱するためだけに使われ、筐体に漏れないようにするのです。 設置に関する正直な話 ただし、注意点があります。私たちのテストでは不良品を見つけることはできますが、不適切な設置による問題は解決できません。完璧なランプであっても、配線が傷んでいたり、コネクタが緩んでいれば、依然としてアーク現象が起こります。これは物理法則によるものです。これらの高電圧ランプには、清潔な環境と正確な端子の締め付けが必要です。また、高湿度の環境で使用する場合は、接地システムが適切に機能しているかを確認してください。私たちは、出荷前にハードウェアが完全な状態になっているかを確認します。残りは、お客様の責任です。

洗浄後のウェーハ乾燥ランプ

Tue, 30 Jun 2026 01:38:56 +0800

実際には、洗浄後の水気を拭き取る工程の効果は、その後の乾燥工程の質次第です。もし温度制御が不十分だと、水滴の跡や表面張力の不均一さ、微細な汚染が発生します。私たちは、洗浄後のこのような問題を解決するためにウェーハ乾燥用のランプモジュールを開発しました。これにより、ウェーハは安定した乾いた表面状態で、予測可能な温度履歴を持った状態でリソグラフィ工程に送られます。

燃料電池触媒乾燥ランプ

Wed, 24 Jun 2026 01:03:36 +0800

フューエルセルの触媒を乾燥させる際には、単なる加熱だけでは不十分です。それは、正確な熱管理が求められる作業なのです。どこか一箇所が過剰に熱くなったり、逆に寒くなったりすると、触媒の活性や均一性、収率が低下してしまいます。私たちは、このような現実に対応するためにNIR乾燥ランプを開発しました。これにより、ウェーハレベルでの均一な加熱が可能となり、フォトレジスト並みの再現性を実現しています。

技術的なポイントとしては、短波長の赤外線を利用し、クォーツ製のケースを採用している点です。これにより、非接触式で迅速な加熱が可能となり、粒子が残ることもありません。基板上の温度の均一性は±0.1℃以内に保たれており、使用される素材はクラス1～100相当の清潔室適合材料です。5,000時間以上の使用でも、温度の変動は5％未満であり、加熱パターンも数度以内の範囲で再現されます。つまり、毎回同じ熱処理条件が得られるのです。