http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/tags/%E3%83%84%E3%82%A4%E3%83%B3/ Recent content in ツイン on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo ja Thu, 23 Jul 2026 09:47:01 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/posts/twin-tube-gold-coated-lamp/ Thu, 23 Jul 2026 09:47:01 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/posts/twin-tube-gold-coated-lamp/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ツインチューブ型ゴールドコーティングランプ"></p> <p>化学洗浄エリアでのランプの安定した使用方法<br> 正直に言って、可燃性の化学物質の周りで赤外線ヒーターを使うのは<a href="https://henruite.com">非常</a>に危険な作業です。工場内に爆発性の蒸気が充満している状況では、<a href="https://o-yate.net">通常</a>の石英ランプは単なる道具ではなく、かえって危険源になります。ちょっとした火花でも大きな問題を引き起こす可能性があります。</p> <p>だからこそ、私たちは特殊な<a href="https://o-yate.com">密封</a>構造を持つ、二重管式で金コーティングされたランプを使用しています。これにより、リスクを最小限に抑えることができます。</p> <p><strong>秘密は金コーティングにあります。</strong><br> 石英に金をコーティングすることで、熱の伝達方を変えるのです。熱が散乱するのを防ぎ、多くの熱を再び管内に戻します。これにより、表面温度が上昇し、必要な場所にだけIR光が集中します。</p> http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/posts/twin-tube-infrared-heating-lamp/ Mon, 22 Jun 2026 19:08:49 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/posts/twin-tube-infrared-heating-lamp/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="ツインチューブ赤外線加熱ランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程において、フォトレジストの加熱処理は単なるウォームアップではありません。これは、重要な寸法を<a href="https://henruite.com">正確</a>に制御するための重要な工程です。ソフトベイクでは2℃ほどのバラつきが生じ、それによって回路の線幅もナノメートル単位で変化してしまいます。私たちは、このようなバラつきを排除するために、二重管式の赤外線ランプを開発しました。</p> <p>技術的に重要な点は以下の通りです。 この装置は短波長の赤外線を利用しており、エネルギーを直接フォトレジストに与えることができます。そのため、下層の材料が焦げることはありません。二重管構造により、ウェハ全体に均一な照射が行われ、表面の均一性は±0.1℃以内に保たれます。応答速度も2秒未満なので、設定値を変更してもすぐにプロファイルが<a href="https://goldisgood.com">反映</a>されます。再現性も、ロット間で数百分の1度程度の範囲内に収まります。</p>