http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/tags/%E3%82%BB%E3%83%AB/ Recent content in セル on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 01:03:36 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/posts/fuel-cell-catalyst-drying-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 01:03:36 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/posts/fuel-cell-catalyst-drying-lamp/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="燃料電池触媒乾燥ランプ"></p> <p>フューエルセルの触媒を乾燥させる際には、単なる<a href="https://henruite.com">加熱</a>だけでは不十分です。それは、正確な熱管理が求められる作業なのです。どこか一箇所が過剰に熱くなったり、逆に寒くなったりすると、触媒の活性や均一性、収率が低下してしまいます。私たちは、このような現実に対応するためにNIR乾燥ランプを開発しました。これにより、ウェーハレベルでの均一な加熱が可能となり、フォトレジスト並みの再現性を実現しています。</p> <p>技術的なポイントとしては、短波長の赤外線を利用し、クォーツ製のケースを採用している点です。これにより、非接触式で迅速な加熱が可能となり、粒子が残ることもありません。基板上の温度の均一性は±0.1℃以内に保たれており、使用される素材はクラス1～100相当の清潔室適合材料です。5,000時間以上の使用でも、温度の変動は5％未満であり、加熱パターンも数度以内の範囲で再現されます。つまり、毎回同じ熱処理条件が得られるのです。</p>