http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A8%E3%83%8F%E3%83%BC/ Recent content in ウエハー on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo ja Mon, 06 Jul 2026 03:56:46 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/posts/wafer-oxidation-heating-element/ Mon, 06 Jul 2026 03:56:46 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/posts/wafer-oxidation-heating-element/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハ酸化用ヒーター素子"></p> <h2 id="はじめに">はじめに</h2> <p>さっそく本題に入りましょう。半導体ウェーハの酸化処理において、<a href="https://goldisgood.com">加熱要素</a>は単なる部品に過ぎないわけではありません。それはファーネスの核心部分なのです。<br> そのため、業界では極端な高温環境でも問題なく動作できる加熱器具が求められていました。つまり、ウェーハ全体にわたって温度を±0.1℃という極めて狭い範囲内で均一に保つことが重要なのです。<br> どうやってそれを実現したのか？<a href="https://henruite.com">高電圧</a>を利用し、コンパクトな構造と耐久性の高い素材を組み合わせることで実現しました。その結果、輸入品と同等の性能を発揮しながら、長期的にはコストを抑えることができます。</p> http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/posts/wafer-drying-lamp-after-cleaning/ Tue, 30 Jun 2026 01:38:56 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/ja/posts/wafer-drying-lamp-after-cleaning/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="洗浄後のウェーハ乾燥ランプ"></p> <p>実際には、洗浄後の水気を拭き取る工程の効果は、その後の乾燥工程の質次第です。もし温度制御が不十分だと、水滴の跡や表面張力の不均一さ、微細な汚染が発生します。私たちは、洗浄後のこのような問題を解決するためにウェーハ乾燥用のランプモジュールを開発しました。これにより、ウェーハは安定した乾いた表面状態で、予測可能な温度履歴を持った状態でリソグラフィ工程に送られます。</p>