Lampada di riscaldamento dell evaporatore Evatec

Thu, 04 Jun 2026 00:57:21 +0800

Sulla linea di produzione, uno scostamento di 0,5°C nella cottura del photoresist è sufficiente a compromettere un intero lotto. Stai utilizzando evaporatori Evatec e il budget termico è fissato in modo rigido. La lampada di riscaldamento è il punto in cui l’intento del processo impatta effettivamente il wafer. Se anche solo leggermente fuori specifica, l’overlay litografico ne risente e l’esclusione dei bordi inizia a peggiorare.

Cosa Conta Davvero
Le lampade di riscaldamento degli evaporatori Evatec sono progettate attorno ai profili termici di deposizione di film sottili e di cottura del resist necessari. L’emettitore alogeno o NIR genera calore radiante pulito con un controllo spettrale preciso, garantendo una risposta termica inferiore al secondo e una temperatura stabile allo stato stazionario. Sul wafer si mantiene un’uniformità termica entro ±0,1°C, valore che si riflette direttamente in una ripetibilità delle dimensioni critiche e del profilo del resist. L’involucro in quarzo e gli elementi di fissaggio ingegnerizzati sono certificati per cleanroom di classe 1–100, con zero generazione di particelle e bassa emissione di gas. Si può fare affidamento sulla continuità operativa 24/7, lunga durata della lampada e output stabile; sono in funzione unità con oltre 5.000 ore e un calo di potenza inferiore al 5%.

Evaporatore on Pure Quartz Infrared Heaters

Lampada di riscaldamento dell evaporatore Evatec