http://pure-quartz-ir-heater.com/it/tags/ellissometria/ Recent content in Ellissometria on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo it Fri, 26 Jun 2026 01:31:42 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/it/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 26 Jun 2026 01:31:42 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/it/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Riscaldatore per sonda di ellipsometria per wafer"></p> <p>Nel processo di litografia, anche un deflesso di mezzo grado durante la fase di essiccazione del fotoresistenza è sufficiente per trasformare un profilo di spessore ben controllato in uno spessore irregolare. Il riscaldatore integrato nell’elettrodo per l’ellipsometria è stato progettato apposta per impedire tale deflesso fin dall’inizio. È stato progettato tenendo conto delle condizioni termiche legate all’essiccazione dei wafer, alla preriscaldazione del fotoresistenza e alla fase di essiccazione successiva all’esposizione: in questi casi, l’uniformità della temperatura è fondamentale per garantire una geometria corretta del dispositivo.</p>