Mantenere sicuri i carrelli utilizzati nelle sale pulite per semiconduttori (e mantenere intatte le wafer)
In una sala pulita per semiconduttori, i rischi sono davvero estremi. Un piccolo arco elettrico o una scarica di particelle casuali possono distruggere l’intero lotto di wafer prodotte. È uno scenario disastroso.
Ecco perché non trascuriamo mai la qualità dei riscaldatori utilizzati nei carrelli. Li progettiamo in modo che mantengano costanti le temperature richieste, ma, cosa ancora più importante, in modo che non causino alcun danno.
Perché testiamo ogni singolo apparecchio
Alcune aziende effettuano dei test su campioni casuali: ne testano uno su dieci e presumono che gli altri siano a posto. Noi non facciamo così.
Ogni riscaldatore che lascia il nostro stabilimento viene sottoposto a test di resistenza ad alta tensione e di resistenza isolante. Punto.
La realtà è che anche un piccolissimo difetto nell’isolamento o un terminale non montato correttamente può causare fughe di corrente. Questa corrente può danneggiare gli strumenti sensibili presenti nella sala, oppure, peggio ancora, può causare scosse elettriche agli operatori mentre spostano i carrelli.
Noi aumentiamo notevolmente la resistenza dielettrica degli apparecchi, al di là della tensione di funzionamento normale. Vogliamo essere sicuri che possano resistere a eventuali picchi di tensione senza problemi. Se la resistenza non raggiunge i valori richiesti, l’apparecchio viene scartato. Nessuna eccezione.
Il compromesso tra calore e sicurezza
Raggiungere la giusta densità termica senza compromettere la sicurezza è davvero difficile.
Innanzitutto, utilizziamo materiali isolanti di alta qualità. Non devono assolutamente “emettere gas”, visto che in un ambiente di tipo 10/100, qualsiasi vapore chimico rappresenta un disastro.
Poi c’è il problema legato allo spessore dell’isolamento: un isolamento più spesso è più sicuro, ma rallenta il processo di riscaldamento. Bisogna assicurarsi che il controllore sia in grado di gestire questa situazione.
Un altro consiglio: non cercate di inserire troppa potenza in uno spazio ridotto. Altrimenti si creeranno zone surriscaldate, e col tempo queste zone potranno danneggiare l’isolamento.
Qualche consiglio per l’installazione
Una volta che questi riscaldatori arrivano da voi e iniziate ad collegarli ai carrelli, vi prego di fare una cosa importante: controllate il sistema di messa a terra.
Li progettiamo in modo che possano resistere a condizioni estreme, purché la tensione di ingresso rimanga stabile. Ma se nel vostro impianto c’è un sistema di messa a terra instabile, non importa quanto test abbiamo effettuato: i margini di sicurezza saranno comunque compromessi.
Assicuratevi che il sistema di messa a terra sia efficiente, e i riscaldatori potranno funzionare senza problemi.