Berhentilah membuang waktu menunggu wafer Anda menjadi panas. Jika Anda masih mengandalkan sistem sirkulasi udara panas untuk proses pengolahan semikonduktor, berarti Anda sebenarnya sedang membayar “pajak waktu” yang mahal.
Coba pikirkan bagaimana cara kerja sistem udara panas. Anda perlu memanaskan seluruh ruangan terlebih dahulu, lalu memanaskan gasnya, dan setelah itu menunggu hingga panas tersebut meresap ke dalam wafer. Prosesnya lambat dan merepotkan.
Sistem pemanasan inframerah vakum tidak memerlukan tahapan-tahapan tersebut. Alih-alih menggunakan udara, sinar elektromagnetik dikirim langsung ke permukaan substrat. Prosesnya sangat cepat.
Karena tidak ada udara yang menghalangi, kita dapat menggunakan lampu inframerah berfrekuensi pendek atau sedang untuk mempercepat proses pemanasan. Sementara sistem udara panas masih membutuhkan waktu yang lama untuk mencapai suhu yang diinginkan, sistem inframerah sudah dapat mencapai suhu target dalam hitungan detik saja.
Hal ini tentu akan meningkatkan efisiensi proses produksi Anda. Selain itu, Anda juga tidak perlu membuang-buang energi untuk memanaskan dinding ruangan. Energi tersebut digunakan tepat pada tempat yang diperlukan.
Namun, perlu diingat bahwa hal ini tidak semudah sekadar mengganti komponen saja. Anda perlu mengatasi masalah “efek bayangan”. Jika casing lampu menghalangi sinar inframerah, maka beberapa bagian dari permukaan wafer tidak akan mendapatkan panas yang cukup. Biasanya, hal ini ditangani dengan menggunakan beberapa lampu sekaligus atau menggunakan pelindung berlapis emas agar energi inframerah bisa kembali ke permukaan wafer.
Perlu juga diingat bahwa lampu berdaya tinggi ini akan menjadi sangat panas di ujung-ujungnya. Jika sistem pendinginan tidak memadai, koneksi-koneksi lampu tersebut akan rusak. Itu merupakan cara cepat untuk merusak lampu tersebut.
Pada akhirnya, tujuannya adalah beralih dari proses pemrosesan secara batch yang lambat ke proses pemrosesan yang lebih cepat. Anda perlu mengganti alat peniup udara biasa dengan alat yang lebih presisi. Jika Anda ingin meningkatkan kapasitas produksi, cara terbaik adalah dengan mempersingkat waktu prosesnya.