Di ruang produksi, fluktuasi suhu pada RTP tidak hanya terlihat pada grafik saja, tetapi juga berdampak pada kesalahan dalam proses pengolahan photoresist. Ketika lampu mulai berfungsi dengan buruk, konsistensi suhu akan menurun drastis, sehingga rentang suhu yang dapat digunakan untuk proses produksi pun menyempit. Kami menciptakan lampu pengganti ini agar siklus termal tetap berada dalam batas yang ditentukan, dari shift ke shift, tanpa masalah.
Apa yang penting di baliknya? Kami menentukan spesifikasi elemen halogen sedemikian rupa sehingga filamen memiliki geometri yang tepat dan mampu menghasilkan cahaya berfrekuensi rendah. Hal ini memungkinkan energi disalurkan secara efektif ke wafer. Selain itu, lapisan kuarsa yang digunakan sangat murni dan stabil secara RF, sehingga lampu ini dapat beroperasi dengan baik di kondisi lingkungan kelas 1–100, tanpa meningkatkan jumlah partikel di udara. Daya keluaran lampu tetap konsisten selama lebih dari 5.000 jam, dengan fluktuasi yang rendah, sehingga kualitas proses produksi tetap terjaga.
Mengapa hal ini penting dalam proses litografi dan pengolahan photoresist? Proses “soft bake” dan “hard bake” membutuhkan suhu yang tepat agar proses penghilangan pelarut dan penyesuaian tegangan film berjalan dengan baik. Lampu kami mampu menjaga konsistensi suhu hingga ±0,1°C, sehingga lebar garis pada wafer tetap stabil, cacat akibat proses produksi berkurang, dan hasil produksi menjadi lebih baik. Spektrum cahaya yang stabil juga membantu menjaga akurasi pengaturan suhu, sehingga hasil produksi tetap konsisten dari satu batch ke batch lainnya. Konsumsi daya lampu juga dioptimalkan, sehingga penggantian lampu menjadi jarang dilakukan, sehingga proses produksi tetap berjalan lancar.
Detail praktisnya: Pemasangan lampu cukup sederhana, tetapi Anda perlu memastikan bahwa lampu tersebut cocok dengan geometri chamber RTP serta soket lampu yang ada. Periksa jenis konektor dan panjang busur listriknya, lalu lakukan kalibrasi profil termal setelah pergantian lampu. Lakukan kalibrasi ulang setelah 100 jam penggunaan pertama, agar hasil produksi tetap konsisten.