http://pure-quartz-ir-heater.com/he/tags/%D7%A0%D7%99%D7%A7%D7%99%D7%95%D7%9F/ Recent content in ניקיון on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo he Tue, 30 Jun 2026 01:38:56 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/he/posts/wafer-drying-lamp-after-cleaning/ Tue, 30 Jun 2026 01:38:56 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/he/posts/wafer-drying-lamp-after-cleaning/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="מנורת ייבוש של וופרים לאחר הניקיון"></p> <p>בשלב הרחצה שלאחר הניקוי, איכות התהליך תלויה בעיקר בשלב הייבוש שמתבצע לאחר מכן. אם השליטה בטמפרטורה אינה טובה, עלולים להופיע סימני מים, גרדיאנטים במתח הפני השטח, וכן זיהומים זעירים. ייצרנו את מודול הייבוש שלנו כדי למנוע את השינויים האלה לאחר הניקוי, כך שהוופר יגיע לשלב הליתוגרפיה עם משטח יבש ויציב, ועם היסטוריית טמפרטורה צפויה.</p> <p><strong>מה באמת חשוב?</strong> המודול משלב מקורות אינפראאדום באורכי גל קצרים ובינוניים בתוך מנורה שמשתמשת בקוורץ, כדי לאפשר חימום מהיר וממוקד של המשטח. אנו שומרים על רמת טמפרטורה יציבה בטווח של ±0.1°C לאורך כל הוופר, והאחידות המרחבית נשמרת באותו טווח. המודול מתאים לשימוש בחדרי ניקיון מסוג Class 1, עם חומרים שאינם פולטים גזים, ומערכת אוורור ששולטת בריכוז החלקיקים, כך שאין יצירה של חלקיקים במהלך הפעולה. צפיפות האנרגיה מותאמת כך שהשכבה הרטובה תיעלם במהירות, מבלי לגרום לעומס תרמי על הוופר.</p>