http://pure-quartz-ir-heater.com/he/tags/%D7%9E%D7%AA%D7%97/ Recent content in מתח on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo he Mon, 29 Jun 2026 02:53:47 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/he/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ Mon, 29 Jun 2026 02:53:47 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/he/posts/wafer-surface-tension-measurement-heater/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="מכשיר למדידת מתח פני השטח של שבבים"></p> <p>בליתוגרפיה, שינוי של חצי מעלה צלזיוס במהלך תהליך החימום אינו נחשב ל”שגיאה קטנה”. שינוי כזה גורם לשינוי בתכונות הפוטורזיסט, מפריע לשליטה בממדים החשובים, וגורם לכך שהתוצאות לא יהיו ברמה הרצויה. בייצור, זה מתבטא בפסולת, צורך בעבודות תיקון, ועיכובים בלוח הזמנים. יצרנו את המערכות למדידת מתח פני השטח של הוואפר, כדי למנוע שינויים תרמיים עוד לפני שהם מגיעים לוואפר.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> אנו משתמשים ברכיבי אינפרא-אדום בעלי גלים קצרים, בעלי מבנה על בסיס קוורץ – כך שהחום מועבר במהירות ובצורה נקייה, ללא סיכון של חלקיקים. בכל אזור הפעילה, האחידות של הוואפר נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזרתיות של התהליך נשארת קבועה מראייה לראייה. המערכת מיועדת לשימוש בחדרי עבודה נקיים מסוג Class 1–100; היא משתמשת בחומרים עם פליטה נמוכה של גזים, וכן במשטחים עם רמת חלקיקים נמוכה. המערכת יכולה להתאים למקומות הקיימים, ולתפקד בתיאום עם המערכות הקיימות.</p>