http://pure-quartz-ir-heater.com/he/tags/%D7%90%D7%9C%D7%99%D7%A4%D7%A1%D7%95%D7%9E%D7%98%D7%A8%D7%99%D7%94/ Recent content in אליפסומטריה on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo he Fri, 26 Jun 2026 01:31:43 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/he/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 26 Jun 2026 01:31:43 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/he/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="חימום פרובה למדידת אליפסומטריה של שבבים"></p> <p>בשלב הליתוגרפיה, סטייה של חצי מעלה במהלך תהליך החימום הרך יכולה לגרום לשינוי בעובי שכבת הפוטורזיסט. לכן, נוצר מחמם מיוחד שנועד למנוע סטיות אלו. המחמם תוכנן בהתאם לתנאים התרמיים של תהליכי ייבוש השבב, חימום הפוטורזיסט לפני החשיפה, וחימום לאחר החשיפה – שבהם אחידות הטמפרטורה קריטית ליצירת גאומטריה תקינה של המכשיר.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> ישנו גוף פלט אינפרא-אדום באורך גל קצר, שפועל יחד עם מערכת חימום מבוססת קוורץ, כדי לשמור על אחידות הטמפרטורה ברמת השבב בטווח של ±0.1°C. שינויים בטמפרטורה המבוקשת מתבצעים מיידית, בתגובה של פחות משנייה, ללא סטיות. המערכת מתאימה לסביבות נקיות מסוג Class 1, והיא משתמשת בחומרים ובטכנולוגיות שמונעות יצירת חלקיקים. הפלט נשאר יציב ברמה של 1% לאורך 5,000 שעות ויותר, כך שניתן להשתמש בו 24/7, עם אפשרות לתכנון זמני תחזוקה.</p>