En réalité, toute étape de rinçage post-nettoyage n’est efficace que si l’étape de séchage qui suit est bien maîtrisée. Si le contrôle thermique est...

Dans les usines de fabrication, une wafer qui sort de l’étape de nettoyage n’est vraiment propre que lorsqu’elle est complètement sèche. Toute trace...