Émetteur de chauffage infrarouge linéaire

Fri, 05 Jun 2026 01:26:00 +0800

Sur le sol de lithographie

On peut entendre le four cycler pendant que la ligne est au ralenti. Lorsque les profils de cuisson du photoresist dérivent, le rendement en pâtit—un degré à la fois. Ce dont vous avez besoin, c’est d’une source de chaleur qui respecte le budget thermique du wafer, et non celui de la chambre.

Ce qui compte, techniquement Nous avons construit le chauffe-linéaire infrarouge autour des longueurs d’onde infrarouges proches (NIR) afin que l’énergie aille directement dans le photoresist et l’empilement de substrats. Cela permet une réponse en moins d’une seconde, un contrôle thermique précis et une uniformité au niveau du wafer dans une plage de ±0,1°C dans la zone de cuisson active. Chaque émetteur maintient des points de consigne stables et répétables jour après jour, avec une dérive de sortie inférieure à 5 % après plus de 5 000 heures. Le système est conçu pour répondre aux normes internationales des équipements semi-conducteurs et offre des performances validées, équivalentes à celles des sources halogènes et quartz traditionnelles.

Linéaire on Pure Quartz Infrared Heaters

Émetteur de chauffage infrarouge linéaire

Sur le sol de lithographie