Lampe de chauffage infrarouge à double tube

Mon, 22 Jun 2026 19:08:49 +0800

Dans le domaine de la lithographie, le séchage du photorésistant n’est pas une simple étape de préchauffage. C’est plutôt un mécanisme essentiel pour contrôler les dimensions critiques des composants. Un séchage insuffisant peut entraîner des écarts de 2 °C, ce qui se traduit par des déplacements de quelques nanomètres dans les lignes tracées. Nous avons conçu une lampe infrarouge à double tube afin d’éliminer ces variations.

Voici ce qui est important sur le plan technique : La lampe utilise des ondes infrarouges à courte longueur d’onde, ce qui permet de transférer l’énergie directement dans le photorésistant, sans endommager les couches situées en dessous. Les deux tubes permettent d’équilibrer l’éclairement sur toute la surface de la puce, ce qui garantit une uniformité de surface de ±0,1 °C. La réponse de la lampe est inférieure à 2 secondes ; donc, lorsque vous changez la valeur de référence, le profil de séchage s’adapte immédiatement. La répétabilité est de quelques centièmes de degré d’une série à l’autre.

Jumeau on Pure Quartz Infrared Heaters

Lampe de chauffage infrarouge à double tube