Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Sun, 19 Jul 2026 09:01:53 +0800

Wie man die Sauberkeit im Vakuumheizprozess gewährleistet
Wenn Sie ein Werkstück in einem Reinraum der Klasse 100 oder in einer Kammer mit hohem Vakuumgrad erhitzen, kennen Sie sicherlich das Problem: Schon ein einziger Staubkorn oder eine kleine Menge an ausgasenden Stoffen kann dazu führen, dass die gesamte Charge unbrauchbar wird.

Herkömmliche IR-Lampen eignen sich dafür einfach nicht. Die meisten von ihnen verwenden billige Klebstoffe oder minderwertiges Glas – dieses beginnt bereits beim Erhitzen, Gase abzugeben. Das führt zu beschädigten Wafern und viel verschwendeter Zeit.

Infrarotheizer für Vakuumkammern

Fri, 17 Jul 2026 01:48:41 +0800

Hören Sie auf, Zeit mit dem Warten darauf zu verschwenden, dass die Wafer zum Erhitzen kommen.
Wenn Sie weiterhin auf die Zirkulation von Heißluft zur Verarbeitung von Halbleitern angewiesen sind, zahlen Sie im Grunde genommen eine „Zeitsteuer“.
Denken Sie daran, wie funktioniert die Erwärmung durch Gebläseluft: Man muss zunächst den gesamten Raum erhitzen, anschließend das Gas erhitzen – und danach muss man noch warten, bis die Wärme in die Wafer eindringt. Das ist langsam und mühsam.
Die Vakuum-Infrarot-Heizung umgeht diesen Umweg. Anstelle von Luft werden elektromagnetische Strahlen direkt auf das Substrat abgegeben.
Es ist schnell – wirklich schnell.
Da es im Vakuum keine Luft gibt, die im Weg steht, verwenden wir Kurzwellen- oder Mittelwellen-Infrarotlampen, um die gewünschte Temperatur zu erreichen. Während ein Heißluftsystem immer noch Zeit braucht, um stabil zu werden, erreicht eine Infrarotanlage die gewünschte Temperatur innerhalb von Sekunden.
Das verändert alles bezüglich der Produktivität. Außerdem wird keine Energie verschwendet, um die Wände des Raumes zu erwärmen. Die Energie gelangt genau dorthin, wo sie benötigt wird.
Aber Achtung: Es ist nicht so einfach, einfach nur ein Teil auszutauschen.
Man muss auch mit dem „Schatteneffekt“ umgehen. Wenn der Lampenköcher im Weg steht, erhalten einige Bereiche der Wafer nicht die benötigte Wärme. Wir beheben das in der Regel, indem wir mehrere Lampen verwenden oder goldbeschichtete Schutzschirme nutzen, um die Energie zurück auf das Substrat zu lenken.
Und noch ein Hinweis: Diese Hochleistungs-Lampen werden an ihren Enden extrem heiß. Wenn man bei den Kühlkreisläufen oder Kühlschalen spart, können die Anschlüsse zerstört werden. Das ist eine schnelle Art, die Lebensdauer der Lampe zu verkürzen.
Letztendlich geht es darum, vom langsamen Batch-Verfahren zu einem kontinuierlichen Prozess überzugehen. Man ersetzt einen einfachen Förderer durch etwas viel Präziseres. Wenn man die Produktionskapazität erhöhen möchte, ist es die einzige Möglichkeit, die Zykluszeiten zu verkürzen.

Vakuum on Pure Quartz Infrared Heaters

Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Infrarotheizer für Vakuumkammern