Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Sun, 12 Jul 2026 05:46:11 +0800

Sicheres Arbeiten mit Infrarotheizungen zur Waferreinigung
Seien wir ehrlich: Infrarotlampen in Geräten unterzubringen, die mit brennbaren oder explosiven Reinigungsmitteln gefüllt sind, ist eine beunruhigende Vorstellung. Ein kleiner Funke oder eine winzige Rissbildung im Gehäuse der Lampe kann dazu führen, dass das Gerät nicht nur kaputtgeht – es kann sogar zu einer Katastrophe kommen.

Wir lösen dieses Problem damit, die elektrischen Komponenten in einer Art „Festung“ einzuschließen. Wir verwenden spezielle Verpackungs- und Versiegelungsmaterialien, damit Chemikalien und Elektrizität niemals in Berührung kommen können.

Herstellung von Hochtemperatur Klebeband

Thu, 02 Jul 2026 03:17:45 +0800

In der Fabrikhalle bedeutet eine Temperaturverschiebung während des Trocknens der Wafer oder des Backens des Fotopolymers nicht nur einen Fehlerwert auf dem SPC-Chart. Es geht dabei einfach um verlorene Erträge. Unsere Lösung mit Hochtemperaturheizungen basiert auf kurzwelligem Infrarotstrahlung – dadurch wird Wärme schnell und gleichmäßig an das Substrat abgegeben, ohne dass dieses berührt werden muss.

Was wirklich wichtig ist: Die NIR-Energie dringt schnell durch die Schichten aus Wafer und Folie – dadurch wird das gewünschte Temperaturniveau schnell erreicht und gehalten. Die Gleichmäßigkeit der Temperatur über die gesamte Oberfläche des Wafer beträgt ±0,1°C. Dadurch bleiben die kritischen Abmessungen nach der Belichtung konstant. Das System kann sowohl sanftes als auch intensives Backen sicher bewältigen – mit strenger Kontrolle der Temperatur. Dadurch sinkt die Varianz beim Schmelzen des Fotopolymers.

Temperatur on Pure Quartz Infrared Heaters

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Herstellung von Hochtemperatur Klebeband