Zweilampe mit goldbeschichtetem Gehäuse

Thu, 23 Jul 2026 09:47:01 +0800

Die Stabilität der Lampen in Bereichen mit chemischen Reinigungsmitteln gewährleisten
Seien wir ehrlich: Das Betreiben von Infrarotheizern in der Nähe brennbarer Chemikalien ist eine äußerst riskante Angelegenheit. Wenn der Raum voller explosiver Dämpfe ist, ist eine herkömmliche Quarzlampe nicht nur ein Werkzeug – sie stellt außerdem eine Gefahr dar. Ein einziger Funke kann zu großen Problemen führen.

Deshalb verwenden wir Lampen mit doppelten Rohren sowie einerGoldbeschichtung. Dadurch wird das Risiko minimiert.

Das Geheimnis liegt im Gold.
Wir beschichten den Quarz mit Gold, um die Wärmeabstrahlung zu verändern. Anstatt dass die Wärme nach außen abgestrahlt wird, wird ein großer Teil der Wärme wieder in das Rohr reflektiert. Dadurch steigt die Oberflächentemperatur an und die Infrarotstrahlung konzentriert sich genau dort, wo sie benötigt wird.

Zwillingsröhren Infrarot Heizlampe

Mon, 22 Jun 2026 19:08:49 +0800

In der Lithografieabteilung ist das Aufheizen des Fotorezysts keine Art „Aufwärmphase“. Es handelt sich dabei vielmehr um eine Maßnahme zur Kontrolle der kritischen Abmessungen. Bei einer sanften Aufheizung kommt es zu einer Abweichung von 2 °C – dadurch verschieben sich die Linien im Bereich von Nanometern. Wir haben daher eine Doppelröhren-Infrarotlampe entwickelt, um diese Schwankungen auszuschließen.

Was technisch wichtig ist: Die Lampe arbeitet mit Kurzwellen-Infrarotstrahlung und leitet die Energie direkt in den Fotorezyst – ohne dass die darunterliegenden Schichten beschädigt werden. Die Doppelröhren sorgen dafür, dass die Strahlungsintensität auf dem Wafer gleichmäßig verteilt wird; dadurch bleibt die Oberflächenhomogenität bei ±0,1 °C. Die Reaktionszeit beträgt weniger als 2 Sekunden – sobald man den Einstellwert ändert, passt sich das Profil sofort an. Die Wiederholgenauigkeit liegt bei einigen Hundertsteln eines Grades zwischen den verschiedenen Chargen.

Röhre on Pure Quartz Infrared Heaters

Zweilampe mit goldbeschichtetem Gehäuse

Zwillingsröhren Infrarot Heizlampe