http://pure-quartz-ir-heater.com/de/tags/probe/ Recent content in Probe on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo de Fri, 26 Jun 2026 01:31:42 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/de/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 26 Jun 2026 01:31:42 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/de/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Ellipsometrie Wafer Heizelement"></p> <p>Auf der Lithografiestraße reicht bereits eine Verschiebung von einem halben Grad während des „Soft Bake“-Prozesses aus, um ein kontrolliertes Profil des Photoresists in eine Fehlerquelle bezüglich der Dicke zu verwandeln. Der Heizer für die Ellipsometrie-Sonde wurde entwickelt, um diese Verschiebungen bereits im <a href="https://henruite.com">Vorfeld</a> zu verhindern. Er ist auf die thermischen Bedingungen beim Trocknen der Wafer, beim Vorbehandeln des Photoresists sowie nach der Belichtung abgestimmt – dabei spielt die Temperaturgleichmäßigkeit eine entscheidende Rolle für die Geometrie des Geräts.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong><br> Es handelt sich um einen Kurzwellen-Infrarotstrahler in Kombination mit einem durch Quarz stabilisierten Wärmeleitweg. Dadurch wird eine Temperaturgleichmäßigkeit auf der Waferoberfläche von ±0,1°C gewährleistet. Änderungen der Einstellungen werden sofort umgesetzt – mit einer Reaktionszeit von unter einer Sekunde und ohne Überschreitung der Zielwerte. Das System ist für Reinräume der Klasse 1 geeignet; die verwendeten Materialien sowie die Oberflächenbehandlungen sorgen dafür, dass es zu keiner Teilchengenerierung kommt. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil – somit kann das System 24/7 betrieben werden, wobei die Wartungsintervalle einfach planbar sind.</p>