http://pure-quartz-ir-heater.com/de/tags/oxidation/ Recent content in Oxidation on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo de Mon, 06 Jul 2026 03:56:46 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/de/posts/wafer-oxidation-heating-element/ Mon, 06 Jul 2026 03:56:46 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/de/posts/wafer-oxidation-heating-element/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Waffeloxidationsheizelement"></p> <p><strong>Einführung</strong><br> Kommen wir direkt zum Punkt. Bei der Oxidation von Halbleiterwafern ist das Heizelement nicht einfach nur ein weiterer Bestandteil des Ofens – es ist vielmehr das Herzstück des Ofens selbst. Deshalb haben wir beschlossen, hier zu Hause unsere eigenen Halogenheizlampen herzustellen. Die Industrie benötigte schließlich Geräte, die auch bei extremen Temperaturen zuverlässig funktionieren können. Das Ziel war es, eine Temperatur zu erzeugen, die über die gesamte Fläche des Wafers gleichmäßig verteilt wird – mit einer Genauigkeit von ±0,1 °C.</p>